二、膜料点 膜料点不良也是镀膜产品的一个常见问题，在日企、台企把膜料点称为“斑孔” 顾名思义，膜料点就是蒸镀中，大颗粒膜料点随着膜料蒸汽分子一起蒸镀到了基片的表面，在基片表面形成点状的突起，有时是个别点，严重时是成片的细点，大颗粒点甚至可以打伤基片表面。 各种膜料的蒸发特性是不一样的，特别是熔点温度和蒸发温度有很大差异 熔点温度大于蒸发温度的材料，由固态直接气化蒸发，是升华材料； 熔点温度小于蒸发温度的材料，由固态先化成液态尔后在转换成气态蒸发，是非升华材料； 熔点温度与蒸发温度相当的材料，由固态到气态蒸发，边融化边蒸发。是半升华材料。 其中非升华材料最容易产生膜料点，因为液态的膜料继续加热会沸腾，沸腾中膜料中的气泡溢出，飞溅膜料点的可能性加大。有时在材料预熔时就有很大的飞溅。 膜料受潮，预熔或蒸镀时水汽逸出，也会造成飞溅产生。 下表是几种常用膜料的升华特性 材料名称 ZnS SiO2 熔点温度 1900 1700 蒸发温度 1100 1600 飞溅可能 极小 很小 备注 Al2O3 ZrO2 TiO2 Ta2O5 MgF2 2020 2715 1850 1800 1266 2100 2700 2000 2100 1540 小 小 大 较大 大 膜料不纯、膜料参杂，即膜料中有了熔点温度、蒸发温度不一致的材料，这也是膜料点产生的原因。 改善思路：选用好的膜料、充分预溶、控制速率。 改善对策： ㈠ 选择杂质少的膜料 ㈡ 对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料 ㈢ 膜料在镀前用网筛筛一下 ㈣ 精心预熔，MgF2务必熔透一次蒸镀所需膜料，而Ta2O5 和TiO2必须彻底熔透。 ㈤ 用一把电子枪镀制几种膜料时，防治坩埚转动中膜料参杂及挡板掉下 膜料渣造成膜料污染。一旦发现坩埚膜料有污染，应立即更换。 ㈥ 尽最大可能使蒸发舟、坩埚干净。（勤打扫）。 ㈦ 选择合适的蒸发速率及速率曲线的平滑。特别是非升华材料，蒸发速率不宜高。 ㈧ 膜料去潮，将待用膜料用培养皿盛放在真空室干燥 注意：有时膜层内有一些细小的点子，有可能不是膜料点，而是灰尘点，处理的方法与膜料点不良是不同的，应严格区分，分别处理。
三、膜色差异
膜色差异有二种（不包含色斑），一种是整罩上、中、下膜色不一致，即分光测试曲线有差异；二是单片膜色不一致。
1．上中下膜色不一致称为整伞（罩）均匀性不好，也称有伞差。主要产生原因是均匀性修正板（补正板）有问题。
2．伞片变形。也是膜色不匀的原因之一，特别是使用了较久的伞片，以往是均匀的，慢慢变得不均匀了，伞片变形就可能是主要原因了。
3．膜料状况的不一致，特别是升华和半升华膜料被打偏，挖坑等也会严重影响整罩和单片的均匀性。特别是有大量手工预熔时，各人的操作手法不一，得到的料况也会不一。 改善思路：充分采用修正板的功能。 改善对策：
㈠ 调整修正板，尽量考虑高低折射率膜料的平衡兼容，如果有二个蒸发源，可能的条件下，独立使用各自的修正板，避免干扰。
㈡ 条件许可，采用行星夹具。
㈢ 伞片整形，对伞片整形可以先加工一个R基模（选择强度较高的原材料），在基模上对伞片整形。为防止减少伞片变形，在伞片订购时对伞片的厚度、原材料选择要合适。
㈣ 加强伞片管理，特别是摆放时的管理，防止因摆放不当而变形。
㈤ 改善膜料状况，特别是电子枪蒸镀升华、半升华材料时，不能把膜料打塌，挖坑。
㈥ 能够自动预熔的膜料，尽量自动预熔，减少人为因素影响。 ▲ 修正板对物理膜厚的修正很有效，但对折射率的修正是力不从心的，所以完全靠修正板解决分光均匀性，是很困难的。 ▲ 如果一个修正板要对应二把电子枪（蒸发源）、以及多种膜料，就会有较大的困难。 对于单片膜色不均匀产生的原因：
主要是由于基片凹凸严重，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。
另外镜片被镜圈（碟片）边缘部遮挡、镜圈（碟片）脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。 改善思路：改善镜片边缘的蒸发角。 改善对策：
㈠ 条件许可，用行星夹具； ㈡ 选用伞片平坦（R大）的机台；
㈢ 根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。 ㈣ 如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，也可改善单片的膜色均匀性。
㈤ 改善镜圈（碟片），防止遮挡。
㈥ 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡 ㈦ 清洁镜圈（碟片） ㈧ 改善膜料蒸发状况。 四、膜脏（也称白压克）
顾名思义，膜层有脏。一般的膜脏发生在膜内或膜外。脏可以包括：灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等。（灰尘点和白雾单列）
改善思路：检讨过程，杜绝脏污染。 改善对策：
㈠ 送交洗净或擦拭的镜片不要有过多的不良附着物； ㈡ 加强镀前镜片的洗净率或擦净率；
㈢ 改善上伞后待镀镜片的摆放环境，防治污染；
㈣ 养成上伞作业员的良好习惯，防治镜片污染（指纹印、口水点及其它）；
㈦ 加快真空室护板更换周期；
㈧ 充气管道清洁，防治气体充入时污染； ㈨ 初始排气防涡流（湍流），初始充气防过冲；
镀膜产品常见不良分析
