TEM成像原理和电子衍射的获得物物镜（焦平面）（物镜光阑）衍射谱TEM成像过程符合Abbe成像原理平行电子束入射到周期结构物样时，便产生衍射现象。经物镜聚焦，其后焦面上形成衍射极大。每个衍射极大值发出的次级波在像平面上相干成像。一次像中间镜（视场光阑）二次像投影镜像平面上的像经过中间镜组，投影镜组再作二次放大投射到荧光屏上，称为物的三级放大。改变中间镜电流，即改变中间镜焦距，使中间镜物平面移到物镜后焦面，便可在荧光屏上看到像变换成衍射谱的过程。6三次像电子显微图象电子衍射花样显微像和选区电子衍射花样
TEM一大优点是可以获得对应的显微图象和选区电子衍射(SAED)图样。在200kv的加速电压下，改变选区光阑的直径，可以得到尺寸小到0.1微米样品的TEM像和SAED图样。
(a) (b) (c) (d)
(a)、(b)是选区光阑直径为1.0微米时得到的碳化硅多晶样品的TEM像和同心圆环组成的选区电子衍射(SAED)图样。(c)、(d)是选区光阑直径为0.1微米时碳化硅单晶颗粒(即(a)中用A标记的颗粒）样品的TEM像和二维点阵组成的选区电子衍射图样，图样中的平行细条纹来自薄片状孪晶。仔细观察可见，(b)中电子衍射图样包含(d)中的单晶电子衍射图样。
7电子衍射几何的基本公式
晶体对电子衍射的布拉格(Bragg)定律 2dhklSinθ=nλ1d或 Sinθ=2λR=Ltg2θ≈2LSinθ=Lλ即 Rd=LλL：相机长度λ：电子波长（Lλ: 相机常数）R：衍射斑距透射斑长度d: 衍射斑对应的晶面间距d8电子衍射谱的标定
电子衍射谱的标定是确定材料显微结构的重要步骤。一般地，这一过程应遵循如下原则：二维倒易平面中的任意倒易矢量g 均垂直于晶带轴[uvw]方向（电子束反方向）[uvw]?ghkl=uh+vk+wl=0
若已知两倒易矢量g1，g2，则晶带轴方向为[uvw]=g1×g2=[k1h2?h1k2,h1l2?l1k2,l1k2?k1l2]
Miller指数的符号应满足右手螺旋法则，该法则决定了两基本矢量与晶带轴之间的关系。两个基本矢量的线性组合，一定能标出属于相同Laue区的所有衍射斑点的指数。9多晶电子衍射谱标定
多晶电子衍射谱由一系列同心圆环组成，每个环对应一组晶面。根据d = Lλ/R，可求得各衍射环对应的晶面间距d。与JCPDF卡（多晶粉末衍射卡）中的d值对照比较便可标定每个衍射环的指数（hkl）。10
电子衍射图谱解析——中国科学技术大学张庶元
