基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备
李晨;熊继军;谭秋林;康昊;葛斌儿;王伟
【期刊名称】《传感器与微系统》 【年(卷),期】2013(032)006
【摘要】因陶瓷有稳定的电特性、机械鲁棒性和化学惰性而得到广泛的应用.为了实现高温、高压、潮湿等恶劣环境中的压力测试,以一种陶瓷和耐高温导电浆料为基质,采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺技术和非接触无线传输设计方法实现传感器的制备.传感器以LC谐振电路为基本工作原理,通过丝网印刷技术来实现电感、电容、导带等无源器件的安置,并且在空腔中填入碳膜(印刷碳浆料)有效地防止了层压中空腔的坍塌,所制传感器避免了器件的封装,引线外连,为传感器工作于高温、高压、潮湿等恶劣环境中奠定基础. 【总页数】3页(95-97)
【关键词】低温共烧陶瓷;无线;电容式压力传感器;无源;高温 【作者】李晨;熊继军;谭秋林;康昊;葛斌儿;王伟
【作者单位】中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051
【正文语种】中文 【中图分类】TN805 【相关文献】
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