基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备
李晨;熊继军;谭秋林;康昊;葛斌儿;王伟
【期刊名称】《传感器与微系统》 【年(卷),期】2013(032)006
【摘要】因陶瓷有稳定的电特性、机械鲁棒性和化学惰性而得到广泛的应用.为了实现高温、高压、潮湿等恶劣环境中的压力测试,以一种陶瓷和耐高温导电浆料为基质,采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺技术和非接触无线传输设计方法实现传感器的制备.传感器以LC谐振电路为基本工作原理,通过丝网印刷技术来实现电感、电容、导带等无源器件的安置,并且在空腔中填入碳膜(印刷碳浆料)有效地防止了层压中空腔的坍塌,所制传感器避免了器件的封装,引线外连,为传感器工作于高温、高压、潮湿等恶劣环境中奠定基础. 【总页数】3页(95-97)
【关键词】低温共烧陶瓷;无线;电容式压力传感器;无源;高温 【作者】李晨;熊继军;谭秋林;康昊;葛斌儿;王伟
【作者单位】中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051
【正文语种】中文 【中图分类】TN805 【相关文献】
1.高温差动电容式压力传感器 [J], А.,СН; 鲍国华
2.基于氧化锆功能陶瓷的无源压力传感器的制备与测试 [J], 郑世俊; 谭秋林; 洪应平; 李莹; 熊继军
3.基于厚膜技术的电容式集成压力传感器的感压元件研究 [J], 马以武; 虞学犬 4.基于倒装技术的电容式绝对压力传感器研究 [J], 周伟; 秦明 5.基于倒装技术的电容式绝对压力传感器研究 [J], 周伟; 秦明
以上内容为文献基本信息，获取文献全文请下载
基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备
