流化床-化学气相沉积技术的应用及研究进展

流化床-化学气相沉积技术的应用及研究进展

作者：刘荣正;刘马林;邵友林;刘兵

作者机构：清华大学核能与新能源技术研究院，先进核能技术协同创新中心，北京 100084;清华大学核能与新能源技术研究院，先进核能技术协同创新中心，北京 100084;清华大学核能与新能源技术研究院，先进核能技术协同创新中心，北京 100084;清华大学核能与新能源技术研究院，先进核能技术协同创新中心，北京 100084 来源：化工进展 ISSN：1000-6613 年：2016 卷：035 期：005

页码：1263-1272 页数：10

中图分类：TQ03-39 正文语种：chi

关键词：流化床-化学气相沉积;材料制备;过程分析;多尺度耦合

摘要：流化床-化学气相沉积（FB-CVD）技术是一种多学科交叉的材料制备技术，兼有流化床传热传质性能良好以及化学气相沉积均匀、产物单一等优点，在工业生产中有着广泛的应用，但因其属于交叉学科，散见于各种研究，没有进行专门的进展评述。本文拟对 FB-CVD 的工业应用进行专题综述，分析其发展和研究趋势。首先探讨了 FB-CVD 的基本原理，分别综述了其在颗粒包覆、一维纳米材料、多晶硅制备、颗粒表面改性及粉体制备等方面的应用，介绍了 FB-CVD 的过程模拟及反应器结构优化方面的研究进展。通过以上讨论，梳理了FB-CVD研究的科学内涵。可以看出，该过程具有明显的多尺度特征，即材料制备的微观层次、颗粒流化均匀性的介观层次以及反应器结构设计