系
统基础知识
概述
专业认知
一、 厂务系统 定义
乃是藉由连接以传输使机台达到预期的功能。 是将厂务提供的 ( 如 水,电,气,化学品等),经由预留之连接点
( ),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备( )。
机台使用这些 ,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。 项目主要包括∶， ， ， ，，，， , . 二、 专业知识的基本认识
在半导体厂，所谓气体管路的（配管衔接）以 （一般性气体如、2、2、2、、、H2等）而言，自供气源之气体存贮槽出口点经主管线（ ）至次主管线（ ）之 点称为一次配（1 ），自 出口点至机台（）或设备（）的入口点，谓之二次配（2 ）。以 （特殊性气体如：腐蚀性、毒性、易燃性、加热气体等之气体）而言其供气源为气柜（ ）。自出口点至（ .多功能阀箱）或（ 多功能阀盘）之一次测（）入口点，称为一次配（1 ），由或 之二次侧（）出口点至机台入口点谓之二次配（2 ）。
简单知识基本掌握
第一章 气体概述
由于制程上的需要，在半导体工厂使用了许多种类的气体，一般我们皆依气体特性来区分，可分为一般气体（ ）与特殊气体（ ）两大类。
前者为使用量较大之气体，如N2、等，因用量较大，一般气体常以大宗气体称之。
后者为使用量较小之气体?一般指用量小,极少用量便会对人体造成生命威胁的气体，如4、3等 1.1 介绍
半导体厂所使用的大宗气体，一般有： 、2、2、、2、2、等七种。
1． 大宗气体的制造：
/ ( / )：
之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及炭氢化合物以供给无尘室 ( )。
2 ()：
利用压缩机压缩冷却气体成液态气体，经过触媒转化器，将反应成2，将H2反应成H2O，再由分子筛吸附2、H2O，再经分溜分离O2 & 。
半导体厂GAS系统基础知识
