台式扫描电镜(SEM) (EM-30 Plus+)操作规程
一、样品喷金
将样品台上贴好导电胶，取粉末状、片状样品平铺于导电胶上，粉末样品需用洗耳球吹走未粘上的粉末，记录好对应位置，放入喷金仪器中，抽真空至真空表指针稳定，调节电流到10mA左右，设定好喷金时间，通常1min，开启喷金按钮，待喷金结束后，打开真空阀，恢复室内常压，取出样品台。
二、开机
先打开电脑，再打开EM-30 Plus+仪器电源，仪器开机后默认抽真空。
三、操作流程
1.样品准备:样品要求导电、无水、无油、无磁，关闭仪器真空按钮，恢复样品仓内常压，将喷金完成的样品台放入样品仓。使用工具测量样品台高度，务必使样品最高位置不超过刻度线5。固定关闭仓门，重新抽真空，等待真空抽好后（数值稳定在29左右5min）。
2.图像调节:a.打开电子枪。b.点击option设置图像存储路径，路径中不能包含中文。c.点击setup，调节电压，最大30kV, 电压过高会损伤样品。设置电子束spotsize值为5-16，越大信号越强，分辨率下降，细节少。d.点击软件左下角，调节镜头观察样品（需提前记录样品在导电胶的位置，以放混淆），通过点击画面调节所需样品至画面中央。e. RED为小窗口模式，fast、slow分别为快速、慢速。鼠标放到focus 上对画面进行聚焦，按滚轮调节，上大下小，调至清晰。画面右侧调节放大倍数至合适倍数，右下角调节画面亮度、对比度和gamma。
3.图像存储:点击photo拍照，拍照完成后点击image保存。
四、关机
关闭电子枪，关闭软件，关闭仪器电源和电脑。如样品需取出回收，关闭真空，取出样品后重新开启真空，等待真空抽上后关闭软件、仪器电源和电脑。
五、注意事项
1.抽真空时请确保真空稳定后再打开电子枪，提前打开会影响灯丝寿命。
2.灯丝使用寿命为100h左右，断后需更换。灯丝调至中央，边缘与灯丝平齐后再向上一圈半，固定，安装，调节光亮至最亮。
3.聚焦时画面摆动，需要做光阑合轴，打开界面左下角，左右摆动调X，上下摆动调Y，调节完成后关闭。
台式扫描电镜(SEM) (EM-30 Plus+)仪器图片
多个样品同时测量与镜头调节
x1000样品扫描结果
台式扫描电镜(SEM)操作规程
