(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(21)申请号 CN200910190792.2 (22)申请日 2009.09.30
(71)申请人 日东电子科技(深圳)有限公司;广东工业大学
地址 518000 广东省深圳市宝安区福永街道白石厦工业东区安全路日东工业园
(10)申请公布号 CN101710574A
(43)申请公布日 2010.05.19
(72)发明人 区大公;张志能;孔繁松;李克天;陈新度;欧阳祥波 (74)专利代理机构 北京中北知识产权代理有限公司
代理人 段秋玲
(51)Int.CI
H01L21/68;
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
COG玻璃基板定位装置
(57)摘要
本发明公开一种COG玻璃基板定位装置,
该定位装置包括基座和设置在该基座上的承载玻璃基板的玻璃载台,所述COG玻璃基板定位装置设有可转动伸缩的定位装置,所述定位装置与所述基座或玻璃载台固定。在所述定位装置定位时,其位置从位于所述玻璃载台下移至其上,由于所述校正板与玻璃载台的边缘平行,放置在所述玻璃载台上的玻璃基板边缘与所述玻璃载台边
缘不平行时,由所述校正板将所述玻璃基板的边缘校正为与玻璃载台边缘平行,因此实现对玻璃基板校正,从而提高所述玻璃基板与芯片键合精度。当所述定位装置定位完成后,所述定位装置翻转落下,因此可以避免所述校正板阻挡玻璃基板移动,提高工作效率。
法律状态
法律状态公告日
2010-05-19 2010-05-19 2010-08-18 2010-08-18 2012-01-11 2012-01-11 2019-09-17
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止
法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止
权利要求说明书
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