5.1.2.5接地桩电阻测试仪(ZC29B型号)
1.沿被测接地极E’使电位探棒P’和电流探棒C’依直线彼此相距20米,且电位探棒P’系在E’和C’之间。
2.E端钮接5m导线,P端钮接20m导线,C端钮接40m导线。
3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零,否则可将零位调正器调节零位。 4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把,同时旋动电位器刻度盘,使检流计指针指“0”。
5.当检流计的指针接近平衡时,加快发电机摇柄转速,使其达到每分钟150转。再转支电位器刻度盘,使检流计平衡,此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。
6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率,重新调整刻度盘以得正确读数。
7.当测量小于1欧的接地电阻时,应将2个E端的联结片打开,分别用导线联接到
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被测接地体上,以消除测量时联接导线电阻的附加误差,操作步骤同上。 8.当检流计的灵敏度过高时,可将二根探棒插入土壤中浅一些,当检流计灵敏度过低时,可沿探棒注水使其湿润。
5.1.2.6 离子风机测试仪(3M-718 /3M-718A)
1、 打开测试仪(718)电源,将测试仪(718)金属板一端与静电产生仪(718A)金属端相连接,同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键,测试仪显静电值应大于“+1000V”。
2、 在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上),再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
3、 打开测试仪(718)电源,将测试仪(718)金属板一端与静电产生仪(718A)金属端相连接,同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键,测试仪显静电值应小于“-1000V”。
4、 离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上),再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
5、 在检测表中记录显示值,注明检测日期,调节后的值。 注意:要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V
5.1.2.7 手腕监视器电容测试仪(SAML1800):
测试时,开关旋转至“1801 FALL”档, SALM1801S-I的LED变成红色,蜂鸣器发出
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报警声响;旋转开关至“1801 PASS”档,SALM1801S-I的LED变成绿灯,蜂鸣器停止发出报警声响。此为合格。
5.2 测试项目
5.2.1静电接地极电阻测试
每半年使用ZC29B进行一次测试,要求静电接地极对地电阻小于1Ω,将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.2设备、仪器接地电阻测试
每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次(新建工位或工位调整后
要立即测试)测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
1. 设备仪器接地电阻:设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率:每月。
2. 电烙铁:对使用中的电烙铁进行接地电阻测试,要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率:每天。
5.2.3 静电接地线接地电阻:
每半年由厂务或指定人员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方
法:在每条静电接地线上任意找一个点,将万用表的一端连在这个点上,另一端
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插在电源地线孔里。要求电阻值小于10Ω。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.4防静电工服
PE工程师或指定人员,每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试,要求表面电阻
1×105?≤RS< 1×109? (上衣做点对点、袖对袖、片对片测试,裤子做裤脚对裤脚、点对点测试),“每次全检,测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。如检测到不合格的情况,在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章,并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQA监督有无不合格静电服流入产线。
5.2.5防静电工作台
PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次,要求表面电阻在
1×105~1×109欧姆和接地电阻在1×106~1×109欧姆。每块工作台面测试3个点,将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.6地板
由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次,要求地板的表面电阻在
1*105~1*109?之间。每100平米地面测5个点(对于面积小于100平方米的独立区域如:IQC、RD实验室、来料仓,每个区域要测5个点)。测试时两个电极距离为0.6米~1米,测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
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同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次,接地电阻在1*105-1*109Ω之间。测试方法:将EMI-20780的一个电极放在地板上,另一端插入电源地线插孔里。每100平米测试1个点。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7物流器具(如:周转箱、周转车、货架)
5.2.7.1由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次,要求摩擦电
压小于100V,周转箱表面电阻:1×103?- 1×109?,每次每种器具抽检,每1条线抽检10Pcs,如果有1Pcs不合格则全检。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7.2 由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次,要求周转车,货
架表面电阻小于1×109?,接地电阻在1×103?- 1×109?之间。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.8腕带、工鞋性能检测
操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试,测试结果由电脑自动保存,产线专门
人员进行存档管理;在车间办公的职员,每日上班进入车间前要进行工鞋测试,对于有可能接触产品的职员(如生产主管、工艺、设备、质控人员)每日上班也必须使用人体综合电阻测试仪,测试记录由电脑自动保存。如有测试不合格者需立即到IPQA处更换。测试合格后方能进入产线。
腕带系统电阻:800KΩ—10MΩ;工鞋系统电阻:100KΩ--35MΩ。
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防静电检测规范
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