5.1.2.5接地桩电阻测试仪（ZC29B型号）
1.沿被测接地极E’使电位探棒P’和电流探棒C’依直线彼此相距20米，且电位探棒P’系在E’和C’之间。
2.E端钮接5m导线，P端钮接20m导线，C端钮接40m导线。
3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调正器调节零位。 4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把，同时旋动电位器刻度盘，使检流计指针指“0”。
5.当检流计的指针接近平衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到每分钟150转。再转支电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。
6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率，重新调整刻度盘以得正确读数。
7.当测量小于1欧的接地电阻时，应将2个E端的联结片打开，分别用导线联接到
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被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操作步骤同上。 8.当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵敏度过低时，可沿探棒注水使其湿润。
5.1.2.6 离子风机测试仪（3M-718 /3M-718A）
1、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应大于“+1000V”。
2、 在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
3、 打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应小于“-1000V”。
4、 离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上)，再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
5、 在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。 注意：要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V
5.1.2.7 手腕监视器电容测试仪（SAML1800）：
测试时，开关旋转至“1801 FALL”档， SALM1801S-I的LED变成红色，蜂鸣器发出
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报警声响；旋转开关至“1801 PASS”档，SALM1801S-I的LED变成绿灯，蜂鸣器停止发出报警声响。此为合格。
5.2 测试项目
5.2.1静电接地极电阻测试
每半年使用ZC29B进行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于1Ω,将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.2设备、仪器接地电阻测试
每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后
要立即测试）测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
1. 设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率：每月。
2. 电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。测试频率：每天。
5.2.3 静电接地线接地电阻：
每半年由厂务或指定人员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方
法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端
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插在电源地线孔里。要求电阻值小于10Ω。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.4防静电工服
PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求表面电阻
1×105?≤RS< 1×109? （上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对裤脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。如检测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQA监督有无不合格静电服流入产线。
5.2.5防静电工作台
PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在
1×105~1×109欧姆和接地电阻在1×106~1×109欧姆。每块工作台面测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.6地板
由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要求地板的表面电阻在
1*105~1*109?之间。每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立区域如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。测试时两个电极距离为0.6米～1米，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
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同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在1*105-1*109Ω之间。测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，另一端插入电源地线插孔里。每100平米测试1个点。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7物流器具（如：周转箱、周转车、货架）
5.2.7.1由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次，要求摩擦电
压小于100V，周转箱表面电阻：1×103?- 1×109?，每次每种器具抽检，每1条线抽检10Pcs，如果有1Pcs不合格则全检。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7.2 由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次，要求周转车，货
架表面电阻小于1×109?，接地电阻在1×103?- 1×109?之间。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.8腕带、工鞋性能检测
操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试结果由电脑自动保存，产线专门
人员进行存档管理；在车间办公的职员，每日上班进入车间前要进行工鞋测试，对于有可能接触产品的职员（如生产主管、工艺、设备、质控人员）每日上班也必须使用人体综合电阻测试仪，测试记录由电脑自动保存。如有测试不合格者需立即到IPQA处更换。测试合格后方能进入产线。
腕带系统电阻：800KΩ—10MΩ；工鞋系统电阻：100KΩ--35MΩ。
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防静电检测规范
