臭氧杀灭细菌和病毒的作用通常是物理的、化学的及生物的等几个方面的综合作用，其作用机制可归纳为以下几点：
1、作用于细胞膜导致细胞膜的通透性增加，细胞内物质外流，使细胞失去活力。 2、使细胞活动必须的酶失去活性。这些酶是合成细胞的重要成分。
3、破坏细胞内遗传物质导致新陈代谢障碍直至死亡，这一过程也是极为迅速的。展坤刘梅提示消毒没有二次污染，是目前最绿色的消毒剂。 臭氧对微生物之杀灭效果
对细菌繁殖体 有关臭氧的杀菌实验报告较多，伍学洲等在无菌罩（0.7ppm/m3）通入臭氧，试验观察发现经臭氧作用20分钟和30分钟对大肠杆菌杀灭率为97.5％和100％；对金黄葡萄球菌杀灭率为93.7％和100％；对绿脓杆菌的杀灭率为84.6％和89.8％。Herbold等报道20℃条件下将臭氧气体通入流动的水中当水中臭氧浓度达0.43mg/L时可将大肠杆菌100％杀灭。白希尧等亦发现臭氧水溶液杀菌作用强大且速度极快，浓度为0.3mg/L的臭氧溶液作用1分钟对大肠杆菌、金黄色葡萄球菌的杀灭率均为100％。
对细菌芽孢 瞿发林等报告在34℃±1℃的条件下以5.50mg/m3浓度臭氧作用45分钟可将100ml塑料瓶内滴染的枯草杆菌黑色变种芽孢全部杀灭。欧阳川等在动态实验条件下将臭氧气体持续通入染菌养殖水中，发现为不中臭发现当水中臭氧浓度为8.87－4.61mg/L时作用3－10分钟可将养殖水中的枯草杆菌黑色变种芽孢杀灭99.99％。
对病毒 臭氧可灭活多种病毒且速度很快1分钟可以灭活90％的卵囊；二氧化氯则须作用1小时，80ppm的氯和80ppm的氯氨均须90分钟才能达到同样的灭活
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效果。
臭氧对藻类的杀灭作用 据孙晓红等测试结果用臭氧处理30分钟含40－50万个/ml单胞藻及原生动物的海水以后，再用显微镜观察发现其所有的原生动植物呈爆炸性死亡，把经臭氧处理的海水继续培养两个星期以后检验测试仍未发现任何生物，且水质清澈透明，取赤潮海水进行30分钟臭氧处理后红色赤潮海水被氧化变为白色透明，水中夜光虫全部被杀死且呈粉碎状。 臭氧化消毒技术优缺点： 优点：
1、臭氧消毒作用是极强的，不管是细菌病毒，还是未萌动的孢子都具有杀灭作用。
2、杀灭速度快，是氯的600－3000倍，在相同的灭菌作用时（灭大肠杆菌率为99.9％）其浓度是氯的0.000048倍。
3、臭氧消毒过程中产生的氧化物是无毒、无味能生物降介的物质。
4、臭氧能很快分解为氧，不会产生二次污染，被人们称之为“洁净的消毒剂”。而且提高养殖用水中的溶氧量。
5、臭氧气体游离状态，消毒中不会产生死角。
6、臭氧在消毒过程中通过其氧化絮凝作用对水质起到一定的净化作用。 7、臭氧消毒技术可用于养殖用水饮用水海水、污水处理也可，用于环境物体等消毒应用范围广，被称之为“万能消毒剂”。
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8、臭氧在应用中，只能就地产生，所以简便、完全、可靠、经济。 缺点：
1、对消毒后的物质无保护性余量。
2、臭氧是有毒气体过量会使人的呼吸系统出现障碍，这就要求密封使用使人不在臭氧过量的环境中停留过长时间。
高压静电处理器通过高压静电场作用产生少量臭氧可以有效的杀菌除燥，其浓度也不会对人体产生任何危害。还可以在设备无垢的内壁生成几微米的致密氧化层，能极大的延缓系统的腐蚀。臭氧还具有很强的杀灭微生物的作用，能迅速杀灭微生物，高压静电场还改变了水中衍生的细菌和藻类的生物场，抑制其代谢能力，在这些综合作用下，能迅速有效的杀灭水体中的微生物。
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臭氧消毒的优缺点
