不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究

不同微结构的纤毛式MEMS矢量水听器性能研究

简泽明;付昌;张国军

【期刊名称】《声学与电子工程》 【年(卷),期】2016(000)004

【摘要】对三种不同梁厚(40μm,20μm,10μm)的微结构进行了模态和静力分析,并制作了相应的水听器进行灵敏度测试,验证了理论分析的正确性. 【总页数】4页(38-41)

【关键词】MEMS矢量水听器;带宽;灵敏度 【作者】简泽明;付昌;张国军

【作者单位】上海船舶电子设备研究所,上海,201108;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051;上海船舶电子设备研究所,上海,201108;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原,030051 【正文语种】中文 【中图分类】 【相关文献】

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2.MEMS仿生矢量水听器微结构的有限元分析 [J], 郭静; 张国军; 王续博; 张文栋

3.MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展 [J], 李俊红; 马军; 魏建辉; 任伟 4.用于MEMS仿生矢量水听器流激噪声抑制的“三明治”式封装结构设计与性能测试 [J], 张斌珍; 郝一龙; 张国军; 刘林仙; 王盼盼; 杨士莪; 张文栋

5.用于 MEMS 矢量水听器流激噪声抑制的“三明治”式封装结构设计与性能测试 [J], 张国军; 刘林仙; 王盼盼; 杨士莪; 张文栋

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