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集成电路导论

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《集成电路导论》教学大纲

一、课程信息

课程代码:T0800039 课程名称:集成电路导论

英文名称:Integrated Circuit Introduction 课程类别:专业拓展课 总 学 时:36 学时 理论学时:36 学时 实践学时:0 学时 学 分:2 学分 开设学期:第6学期

适用对象: 电子信息科学与技术专业学生 考核方式:考查

先修课程:模拟电路基础、数字电路基础、EDA技术 大纲拟定人:张岩 大纲审定人:吴顺伟 二、课程简介

主要写明课程性质、类别、主要内容、教学目的等。

《集成电路原理》是电子信息技术专业学生的一门专业拓展课。课程性质为选修课,课程较全面地介绍了半导体集成电路的基本原理,主要内容包括集成电路中的元器件的结构、特性;集成电路的典型工艺;常用的双极集成电路和MOS集成电路的电路结构、工作原理;集成电路的设计方法和计算机辅助设计。通过学习,使学生能够了解并掌握半导体集成电路的基本的分析方法和设计方法。 三、教学内容及要求

第一章 绪论

教学目标和要求:了解集成电路发展历史及其对人类社会的作用,掌握集成电路的概念,集成电路发展的几个主要阶段,掌握集成电路设计与制造流程。

教学重点和难点:掌握集成电路的设计与制造流程

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实践环节:无

建议使用的教学方法与手段:图文结合多媒体讲授 教学学时:理论2学时 实践0学时

一、集成电路的定义 二、集成电路的发展史 三、集成电路的分类

一 集成电路的设计流程 二 集成电路制造的基本步骤 三 集成电路工艺技术水平衡量指标

一 国际集成电路的发展 二 我国集成电路的发展

第二章 集成电路制造

教学目标和要求:了解集成电路制造的基本要素、主要制造工艺、CMOS工艺流程、工艺评估。了解集成电路制造的基本要求,掌握集成电路制造的材料生长、硅片制备、氧化、离子注入等主要工艺手段,掌握CMOS工艺流程。

教学重点和难点:掌握集成电路主要制造工艺及CMOS工艺流程。 实践环节:无

建议使用的教学方法与手段:图文结合的多媒体讲授 教学学时:理论2学时 实践0学时

一 集成电路制造的基本要求 二 标准生产线的几大要素

一 集成电路制造的基本流程

第二节 主要制造工艺

第一节 集成电路制造的基本要素 第三节 集成电路的发展

第二节 集成电路的设计与制造流程 第一节 集成电路的基本概念

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二 制造集成电路的材料 三 硅片制备 四 氧化 五 淀积 六 光刻 七 刻蚀 八 离子注入

一 基本工艺流程

二 闩锁效应及其预防措施

一 晶圆的电性测量 二 层厚的测量 三 污染物和缺陷检查

第三章 MOSFET

教学目标和要求:掌握MOSFET的结构与特性、短沟道效应、按比例缩小理论、MOSFET电容、MOSFET电容效应,掌握MOS器件的SPICE模型。

教学重点和难点:掌握MOSFET的结构与特性和MOS器件的SPICE模型 实践环节:无

建议使用的教学方法与手段:图文结合多媒体讲授 教学学时:理论2学时 实践0学时

一 MOSFET结构

二 MOSFET电流-电压特性 三 MOSFET开关特性

第二节 短沟道效应

第一节 MOSFET的结构与特性 四 工艺评估

第三节 CMOS工艺流程

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一 载流子速率饱和及其影响 二 阈值电压的短沟道效应 三 迁移率退化效应 四 倍增和氧化物充电

一 LEVEI-1模型 二 LEVEL 2模型 三 LEVEL 3模型

第四章 基本数字集成电路

教学目标和要求:掌握电阻反相器、E/D反相器、CMOS反相器的工作原理,理解静态反相器的设计,掌握MMOS/CMOS逻辑结构,掌握MOS触发器的工作原理,掌握多路开关、加法器和进位链,理解算数逻辑单元,了解寄存器。掌握集成电阻、集成电容、互连线的概念,理解集成电阻、集成电容、互连线在集成电路中的应用。

教学重点和难点:掌握典型组合逻辑电路和时序逻辑电路的设计 实践环节:无

建议使用的教学方法与手段:图文结合多媒体讲授 教学学时:理论6学时 实践0学时

一 CMOS反相器结构与工作原理 二 静态特性 三 动态特性 四 功耗

第二节 典型组合逻辑电路 第一节 CMOS反相器 第三节 按比例缩小理论 第四节 MOSFET电容 第五节 MOS器件SPICE模型

一 带耗尽型NMOS负载的MOS逻辑电路 二 CMOS逻辑电路

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三 CMOS传输门

一 RS锁存器

二 D锁存器和边沿触发器 三 施密特触发器

一 存储器的结构与ROM阵列 二 静态存储器SRAM 三 动态存储器DRAM

第五章 模拟集成电路基础

教学目标和要求:掌握模拟集成电路设计基本步骤,掌握典型的模拟单元电路的设计方法和分析方法。

教学重点和难点:掌握典型的模拟单元电路的设计方法和分析方法 实践环节:无

建议使用的教学方法与手段:图文结合多媒体讲授 教学学时:理论6学时 实践0学时

一 运算放大器 二 A/D、D/A变换器 三RF集成电路 四 功率集成电路

一 共源极放大器 二 共射极放大器

三 共漏极放大器(源随器)

第二节 单管放大电路

第一节 模拟集成电路种类及应用 第四节 扇入扇出

第五节 互联线电容与延迟 第六节 存储器

第三节 典型CMOS时序逻辑电路

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集成电路导论

《集成电路导论》教学大纲一、课程信息课程代码:T0800039课程名称:集成电路导论英文名称:IntegratedCircuitIntroduction课程类别:专业拓展课总学时:36学时理论学时:36学时实践学时:0学时学分:2学分开设学期:第6学期适用对
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