带入得0.00084kg。m.m
将各传动惯量及工作台质量折算到电动机轴上，得总当量负载转动惯量。
代入数据得0.00022kg.m.m
2.惯量匹配验算
js22＝?0.48js46，满足要求。 3.步进电机负载能力校验 （1）步进电动机轴上得总惯量：
J＝jm?jd?0.00046?0.00022?0.00068kg.m2
（2）空载启动时，电动机轴上得惯性转矩：
代入数据得3.5kg.m.m
(3)电动机轴上得当量摩擦转矩：
Tu?Fupp0.004?mgu?500?9.8?0.2?0.4672N.M2π?i2πi?2π?0.85?5/3
13(4)设滚动丝杠螺母副得预紧力为最大轴向载荷得,则因预紧力而引起的、折算到电动机轴上的附加摩擦转矩为
代入数据得0.033N.M
(5)工作台上的最大轴向载荷折算到电动机轴上的负载转矩为3
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代入数据得0.52N.M
（6）于是空载启动时电动机轴上的总负载转矩为
代入数据得3.97N.M
（7）在最大外载荷下工作时，电动机轴上的总负载转矩为
代入数据得1.02N.M
（8）按表得空载启动时所需电动机最大静转矩为
Ts1?Tq0.866?3.97?4.580.866
按式5-39可求得在最大外载荷下工作时所需电动机最大静转矩为
0.3?0.5T?Ts1?4.58N.M
Ts1?Tq?2.0?3.3因此选择的电动机满足要求。
（七）光电开关的选择
产品简介
E3R型放大器内置型光电传感器，低成本，小型光电传感器，采用了耐药品、耐油性都很优秀的特氟龙（PFA）能够民晶圆片洗净槽的硫
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酸等高温液体的检测相对应。（-40 ~ +200℃），实现了0.5mm的高重复精度。采用了防止液体的结构。
应用范围
能为制造过程提供高性能的目标探测、定位和高分辨率检测,适用于半导体工业中的目标检测等应用
产品性能说明
检测方式：对射型检出距离：5M 动作模态：遮光时ON，入光时ON（可切换）
选择的产品型号：E3R-5E4 2M BY OMC （八）接近开关的选择
选用CLJ-A系列M8*1非埋入式
来源于：http://www.coron.com.cn/cp_show.asp?info_id=214
三、控制系统部分设计
该控制系统采用的微型机为80C51单片机。执行元件采用直流电机 （一）面板的布置图
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图五、面板示意图 （二）操作面板功能介绍
1.位移状态选择开关
以手动或自动操作工作台的移动时，可通过旋转此开关来改变工作台的移动状态。
位移控制
2．启动开关（按下此开关机床启动）
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3．停车开关（按下此开关机床停车。）
4．进给轴选择按钮开关
按下欲运动的轴的按钮。被选择的轴会以相应的倍率进行移动，松开按钮则轴停止移动。
5．回零位键（按下此键工作台回零位）
6．显示器
八位晶体管显示器，显示工作台的位置，精确到0.001mm。
X向位置
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数控铣床X-Y工作台设计
