一种制备r—Fe2O3薄膜的新方法

一种制备r—Fe2O3薄膜的新方法

祁志美;张耀华

【期刊名称】《功能材料》 【年(卷),期】1995(026)005

【摘要】采用一种简单的新工艺分别在硅片和氧化铝陶瓷基片上制备了ｒ－Ｆｅ２Ｏ３薄膜。该工艺分３步完成：首先利用Ｆｅ（ＮＯ２）３酒精溶液通过浸渍涂布工艺制备ａ－Ｆｅ２Ｏ３薄膜，其次ａ－Ｆｅ２Ｏ３薄膜在氢气流中、３２０￣３５０℃之间热处理３０ｍｉｎ被还原为Ｆｅ３Ｏ４薄膜，最后Ｆｅ３Ｏ４薄膜在空气中２５０℃左右热处理３０ｍｉｎ被氧化为ｒ－Ｆｅ２Ｏ３薄膜。ＸＲＤ和ＳＥＭ分析结果表明该ｒ－Ｆｅ２Ｏ３薄膜呈尖晶石物相和 【总页数】2页(393-394)

【关键词】r－Fe2O3;半导体薄膜技术;氧化物半导体 【作者】祁志美;张耀华 【作者单位】不详;不详 【正文语种】英文 【中图分类】TN304.21 【相关文献】

1.一种液相制备均匀α-Fe2O3微粉的新方法 [J], 魏雨; 赵建路; 武瑞涛; 张艳峰

2.醇-水共热法制备Fe3O4磁流体--一种制备Fe3O4磁流体的新方法 [J], 任欢鱼; 刘勇健; 庄虹

3.一种修饰钙掺杂钛酸铅湿敏纳米薄膜的新方法--钾修饰薄膜的制备、湿敏特

性和结构表征 [J], 王智民; 左霞; 韩基新; 刘静波; 张艳熹

4.一种确定水热法制备纳米Fe3O4最佳工艺参数的新方法 [J], 宋立勋; 雷天民; 袁梦雪

5.一种制备高分散α-Fe<,2>O<,3>纳米粉体的新方法——超声辐射水解法 [C], 李东升; 陕西省物理无机化学重点实验室; 王文亮; 李西安; 张祝莲

以上内容为文献基本信息，获取文献全文请下载