无油涡旋真空泵的结构—原理之欧阳生创编

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欧阳生创编 2021.02.08

时间：2021.02.08 创作人：欧阳生无油涡旋真空泵技术的发展与应用

[2005-1-24 13:56:00]

作者:宁宪宁

三、无油涡旋真空泵工作原理、技术指标以及与普通油泵的对比无油涡旋真空泵主要由5个部件组成： ①．动静涡旋盘付与基座； ②．曲轴； ③．密封垫； ④．防自转机构； ⑤．电机。

无油涡旋真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交叉组装在一起，两者之间由防自转机构保

。

证180相位差，这样结合组成的一对涡旋盘付构成了无油涡旋真空泵的基本抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线(即横截面涡旋线上的几个点)上接触形成对称的几对月牙腔，动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动，使静涡旋盘与动涡旋盘的接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。例如在双级无油涡旋真空泵中，有两个方向对应的静涡旋盘，一个位于两个涡旋盘之间的动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸人、排气口排出，完成吸气、压缩、排气的循环。曲轴每转一转，就有一组新的月牙腔形成，所以无油涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环以近1500转/分的频率被连续重复,对被抽气体形成包容和强制输送。

众所周知，无油涡旋真空泵(Oil free scroll vacuum pump)与普通油真空泵相比具有显著的特点。下面以普通旋片真空泵为例，说明其差别：

表1 无油涡旋真空泵与普通直联式旋片真空泵技术指标的对比

技术指标抽速（ 1/s ）极限真空度（ pa ）使用寿命 (h) 大修间隔（ h ）冷却介质噪声（ dB ）质量（ kg ）相数电压 (V) 电机功率 (KW) 转数 (r/min) 文章导航 1 .无油涡旋真空泵的特点与应用领域 3 .无油涡旋真空泵的优点及其能给用户解决的问题 5 .安装方法 7 .无油涡旋真空泵的检查与维护旋片式油真空泵 2.0 ， 4.0 ， 8.0 0.6 40000 8000 油 75 70 3/1 220/380 1.1 1400 涡旋无油真空泵 2.0 ， 4.4 ， 8.7 1.0 40000 8000 空气 60 41 1 220 0.6 1437 2 .无油涡旋真空泵工作原理、技术指标以及与普通油泵的对比 4 .无油涡旋真空泵的结构 6 .气镇阀的使用注意事项 8 .结束语欧阳生创编 2021.02.08

欧阳生创编 2021.02.08

五、无油涡旋真空泵的结构

无油涡旋真空泵主要部件为涡旋盘付\\曲轴和密封垫.该泵的抽气——压缩——排气机理是在动、静涡旋盘相互不接触的情况下，依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔，将被抽气体排出，连续完成吸气、压缩和排气过程。在充分考虑抽气过程中发生热交换的情况下，尽量减少动、静涡盘问的径向和轴向间隙,可以提高抽速和极限真空度。

针对无油涡旋真空泵结构上存在着的运转过程中水分和杂质易积聚和轴承易磨损的弱点,加气镇阀是必要的选择。结构上的改进主要有两点：

①．加气镇阀使极限真空度保持要求值——进气压力0.03MPa(G)以下，流量l0L/min以下。

②．轴承端面加双侧密封圈密封，有效防止轴承磨损。在无油涡旋真空泵的设计过程中，需要解决的问题包括：

①．涡旋泵的CAD设计一一型线方程的确定及修正，初始角修正，运动模拟；

欧阳生创编 2021.02.08

②．涡旋盘的加工一一加工精度、加工工艺间隙的大小：抽速、极限真空度；

③．涡旋盘的表面处理一一耐腐蚀、润滑、硬度、处理工艺、表面均匀性；

④．密封垫材料的选择与加工——密封垫要求有弹性、耐磨、不产生微粒。

六、无油涡旋真空泵的使用 1．安全注意事项

使用前与使用过程中应当注意的安全事项包括：无油涡旋真空泵的抽气范围(用于抽洁净气体。不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体、化学品、溶剂及粉末等)。安装要求(安装在没有易燃、易爆物品、避雨、无蒸汽的安全场所)。

安装在水平面上(倾角小于5。)。周围无灰尘、无铁屑、石块或木块。

一定要安全接地。一定要安装紧急制动开关。接线要由合格的电工完成)。