一种新型的低噪声硅微机械陀螺电容读出电路
吴传奇; 张欢阳; 童紫平; 龙善丽; 贺克军
【期刊名称】《导航与控制》 【年(卷),期】2019(018)006
【摘要】陀螺系统的微机械敏感结构部分的性能提升受到成本、工艺的限制,有较高难度,故提升接口电路的各项性能成为提升整个系统性能的关键.因此,电容读出电路作为微机械陀螺系统中非常重要的组成部分,该电路性能的优劣直接决定着陀螺的测量精度.为实现硅微陀螺高精度检测,设计了一款低噪声的电容读出电路.在陀螺与读出电路之间设计斩波开关,基于斩波技术进行低噪声设计,采用相关双采样技术用来降低关键的第一级放大电路的低频闪烁噪声和开关噪声.采用了一种简化的陀螺测试模型,用于读出电路的独立测试.读出电路在0.18μm CMOS工艺下设计流片,测试结果表明,该电容读出电路输出噪声为-122.8dBV/Hz1/2,可实现0.06aF/Hz1/2的电容分辨率. 【总页数】7页(100-106)
【关键词】硅微陀螺; 电容读出电路; 斩波技术; 相关双采样 【作者】吴传奇; 张欢阳; 童紫平; 龙善丽; 贺克军 【作者单位】华东光电集成器件研究所 苏州215163 【正文语种】中文 【中图分类】TN432 【相关文献】
1.低噪声硅微陀螺敏感电容电荷读出电路设计 [J], 卢月娟; 徐大诚; 郭述文 2.一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片 [J], 尹韬; 杨海钢; 张翀;
吴其松; 焦继伟; 宓斌玮
3.高精度低噪声MEMS陀螺仪电容读出电路 [J], 唐兴刚; 龙善丽; 刘艳 4.一种低噪声低失调电容读出电路 [J], 吴其松; 杨海钢; 张翀; 尹韬
5.用于热电集成红外传感器的低噪声多速率开关电容器读出电路 [J], Malco.,P
以上内容为文献基本信息，获取文献全文请下载
一种新型的低噪声硅微机械陀螺电容读出电路
