接触电容式压力传感器的设计与模拟

接触电容式压力传感器的设计与模拟

彭韶华;周闵新;秦明;黄庆安

【期刊名称】《传感器与微系统》 【年(卷),期】2003(022)012

【摘要】针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构.通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度. 【总页数】3页(78-80)

【关键词】接触式;电容式压力传感器;有限元;气压计 【作者】彭韶华;周闵新;秦明;黄庆安

【作者单位】东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 【正文语种】中文 【中图分类】TP212.12 【相关文献】

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