个人资料整理 仅限学习使用 CMOS图像传感器的工作原理及研究 摘要:介绍了CMOS图像传感器的工作原理,比较了CCD图像传感器与CMOS图像传感器的优缺点,指出了CMOS图像传感器的技术问题和解决途径,综述了CMOS图像传感器的现状和发展趋势。 1 引言
自从上世纪60年代末期,美国贝尔实验室提出固态成像器件概念后,固体图像传感器便得到了迅速发展,成为传感技术中的一个重要分支,它是PC机多媒体不可缺少的外设,也是监控中的核心器件。互补金属氧化物半导体 CCD型和CMOS型固态图像传感器在光检测方面都利用了硅的光电效应原理,不同点在于像素光生电荷的读出方式。CMOS图像传感器芯片的结构 [2]如图1所示。典型的CMOS像素阵列[3],是一个二维可编址传感器阵列。传感器的每一列与一个位线相连,行允许线允许所选择的行内每一个敏感单元输出信号送入它所对应的位线上<图2),位线末端是多路选择器,按照各列独立的列编址进行选择。根据像素的不同结构[4],CMOS图像传感器可以分为无源像素被动式传感器 个人资料整理 仅限学习使用 PPS[4,5]出现得最早,结构也最简单,使得CMOS图像传感器走向实用化,其结构原理如图3所示。每一个像素包含一个光敏二极管和一个开关管TX。当TX选通时,光敏二极管中由于光照产生的电荷传送到了列线col,列线下端的积分放大器将该信号转化为电压输出,光敏二极管中产生的电荷与光信号成一定的比例关系。无源像素具有单元结构简单、寻址简单、填充系数高、量子效率高等优点,但它灵敏度低、读出噪声大。因此PPS不利于向大型阵列发展,所以限制了应用,很快被APS代替 光敏二极管像素单元[6]如图4所示。它是由光敏二极管,复位管M4,源跟随器M1和行选通开关管M2组成,此外还有电荷溢出门管M3,M3的作用是增加电路的灵敏度,用一个较小的电容就能够检测到整个光敏二极管的n+扩散区所产生的全部光生电荷,它的栅极接约1V的恒定电压,在分析器件工作原理时可以忽略将其看成短路。电荷敏感扩散电容用做收集光生电荷。复位管M4对光敏二极管和电容复位,同时作为横向溢出门控制光生电荷的积累和转移。源跟随器M1的作用是实现对信号的放大和缓冲,改善APS的噪声问题。源跟随器还可加快总线电容的充放电,因而允许总线长度增加和像素规模增大。因此,APS比PPS具有低读出噪声和高读出速率等优点,但像素单元结构复杂,填充系数降低,填充系数一般只有20%到30%。它的工作过程是:首先进入“复位状态”,M1打开,对光敏二极管复位;然后进入“取样状态”,M1关闭,光照射到光敏二极管上产生光生载流子,并通过源跟随器M2放大输出;最后进入“读出状态”,这时行选通管M3打开,信号通过列总线输出。 个人资料整理 仅限学习使用 光栅型APS[7,8]是由美国喷气推进实验室 对数响应型CMOS-APS[9]拥有很高的动态范围,其像素单元结构如图6所示。它由光敏二极管、负载管M1、源跟随器M2和行选通管M3组成,负载管栅极是一恒定偏置电压<不一定要是电源电压),该像素单元输出信号与入射光信号成对数关系,它的工作特点是光线被连续地转化为信号电压,而不像一般APS那样存在复位和积分过程。但是,对数响应型CMOS-APS的一个致命缺陷就是对器件参数相当敏感,特别是阈值电压。 PPS和APS都是在像素外进行模/数 表1给出CCD与CMOS图像传感器的性能比较,与CCD图像传感器相比,CMOS图像传感器具有明显的优势。