磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究
吴校生;陈文元;赵小林;张卫平;何淼
【期刊名称】《微细加工技术》 【年(卷),期】2004(000)001
【摘要】介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作.初步的实验表明该方案是行之有效的. 【总页数】5页(68-72)
【关键词】磁悬浮;微陀螺;微细加工;线圈;转子 【作者】吴校生;陈文元;赵小林;张卫平;何淼
【作者单位】上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030 【正文语种】中文 【中图分类】TN389
【相关文献】
1.磁悬浮转子微陀螺及其悬浮力与稳定性的分析 [J], 吴校生; 陈文元; 张卫平 2.电磁悬浮转子微陀螺悬浮稳定性分析 [J], 吴校生; 陈文元; 张卫平; 黄晓刚; 刘武; 崔峰
3.磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现 [J], 刘武; 黄晓刚; 邵诗逸; 陈文元; 张卫平
4.磁悬浮转子微陀螺的设计技术 [C], 张卫平; 陈文元; 吴校生; 赵小林; 崔峰; 黄晓刚; 刘武
5.磁悬浮转子微陀螺电容结构设计 [J], 黄晓刚; 刘武; 邵诗逸; 陈文元; 张卫平
以上内容为文献基本信息，获取文献全文请下载
磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究
