本技术提供一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，包括以下步骤：S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服务器中；S2：通过MES系统服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES系统的显示屏上。本技术通过对镀膜机台系统进行设定，使输入的石墨舟使用资料传输至镀膜机台服务器，再将镀膜机台服务器资料与MES系统进行交互，使得石墨舟的使用状况直观呈现在MES系统内，可以及时、精确管控石墨舟使用次数，从而降低镀膜色差不良率。
技术要求
1.一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服
务器中；
S2：通过MES系统服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES系统的显示屏上。2.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：于所述步骤S1中，当石墨舟进
入镀膜机台时，通过镀膜机台电脑软件界面手工输入石墨舟的舟号和当前使用次数，所述镀膜机台服务器将输入的石墨舟数据记录。
3.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：于所述步骤S2中，所述MES系
统服务器通过JAVA程式读取所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容，并解析该文档中的内容，读取文档中的舟号及使用次数写至数据库指定表中，所述MES系统服务器查询所述数据库指定表中的数据，并显示到所述显示屏上。
4.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：当石墨舟达到规定的使用次数
后，并经过清洗后重新上线，所述MES系统服务器将该石墨舟原有的使用次数清零。
5.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述MES系统服务器按照预设
周期更新数据。
6.根据权利要求5所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述MES系统服务器更新数据
包括如下步骤：调用JAVA程式查询数据库中的石墨舟数据，并将所述数据库中的石墨舟数据与所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容进行对比，如果石墨舟数据发生变化，则将所述镀膜机台服务器上新的石墨舟数据写入数据库指定表中。
7.根据权利要求5所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述预设周期为一小时。8.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述MES系统服务器还通过JAVA程式判断石墨舟使用次数是否达到预警次数或超过设定次数，并判断是否需要进行发送作业，若是，则
发送提醒信息至预设邮件服务器。
9.根据权利要求1所述的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，其特征在于：所述镀膜机台为等离子增强化
学气相沉积镀膜机台。
技术说明书
一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法技术领域
本技术属于镀膜技术领域，涉及一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法。背景技术
等离子增强化学气相沉积(PECVD)的技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。化学式为：3SiH4+4NH3→Si3N4+6H2。
如图1所示，显示为PECVD镀膜机台的结构示意图。图2显示为图1所示结构的A-A向剖面图。图3显示为图1中椭圆虚线框所示区域的放大图。PECVD反应时，以约13.56MHZ的射频电源加到其中之一电极板(石墨舟片)；交流电使两电极板(石墨舟片)间的自由电子产生震荡，从而撞击反应室气体，使其游离，并因碰撞时能量移转而产生大量活性基。
反应在晶体硅片表面形成固态薄膜的同时，也会在石墨舟片表面附着，使用到一定次数后，将会影响石墨舟片的导电性能，另外也会影响晶体硅片与石墨舟片的接触，导致晶体硅片外观不良比例升高。业内各厂均有对石墨舟的使用次数进行管制，规定的使用次数与管制方法各有不同。现有石墨舟使用次数管制方法主要有以下四种：
1、通过单次制程时间计算石墨舟使用次数：日使用次数＝24(小时)*60(分钟)*炉管数/制程时间/机台石墨舟数
量。该方法的缺点是：机台异常或制程工艺出错时，次数存在较大差异。
2、通过每日产出计算石墨舟使用次数：日使用次数＝机台总产出/每舟装载数量/机台石墨舟数量。该方法的缺
点是：准确性较差
3、通过人工记录使用次数：生产人员将石墨舟每次进出信息都进行记录，下班累计。该方法的缺点是：耗费人
力工时，增加管理难度。
4、通过机台服务器查看：通过Centrotherm机台CCC服务器查取石墨舟使用次数。该方法的缺点是：有查询权
限，查询不方便。
因此，如何提供一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，以及时、精确管控石墨舟使用次数，从而降低镀膜色差不良率，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题技术内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，用于解决现有技术中石墨舟使用次数管制方法准确性较差，耗费人力工时，查询不方便，导致晶体硅片外观不良比例升高的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，包括以下步骤：
S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服
务器中；
S2：通过MES系统服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES系统的显示屏上。
可选地，于所述步骤S1中，当石墨舟进入镀膜机台时，通过镀膜机台电脑软件界面手工输入石墨舟的舟号和当前使用次数，所述镀膜机台服务器将输入的石墨舟数据记录。
可选地，于所述步骤S2中，所述MES系统服务器通过JAVA程式读取所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容，并解析该文档中的内容，读取文档中的舟号及使用次数写至数据库指定表中，所述MES系统服务器查询所述数据库指定表中的数据，并显示到所述显示屏上。
可选地，当石墨舟达到规定的使用次数后，并经过清洗后重新上线，所述MES系统服务器将该石墨舟原有的使用次数清零。
可选地，所述MES系统服务器按照预设周期更新数据。
可选地，所述MES系统服务器更新数据包括如下步骤：调用JAVA程式查询数据库中的石墨舟数据，并将所述数据库中的石墨舟数据与所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容进行对比，如果石墨舟数据发生变化，则将所述镀膜机台服务器上新的石墨舟数据写入数据库指定表中。可选地，所述预设周期为一小时。
可选地，所述MES系统服务器还通过JAVA程式判断石墨舟使用次数是否达到预警次数或超过设定次数，并判断是否需要进行发送作业，若是，则发送提醒信息至预设邮件服务器。可选地，所述镀膜机台为等离子增强化学气相沉积镀膜机台。
如上所述，本技术的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，具有以下有益效果：本技术通过对镀膜机台系统进行设定，使输入的石墨舟使用资料传输至镀膜机台服务器，再将镀膜机台服务器资料与MES系统进行交互，使得石墨舟的使用状况直观呈现在MES系统内。本技术改变了人员统计次数的做法，系统自动抓取次数，减少人工，可以提高准确性。本技术由每班次统计一次变为按预设周期更新数据，例如一小时更新一次，及时性强。本技术使得石墨舟状态直观呈现，数据系统记录，可追溯性强。本技术还可在石墨舟使用次数是达到预警次数或超过设定次数时进行邮件提醒。本技术有效降低了人工成本及管理成本，通过精确管控，使CVD站色差不良率由0.9％降至0.5％，有利于提高生产效益。附图说明
图1显示为PECVD镀膜机台的结构示意图。图2显示为图1所示结构的A-A向剖面图。图3显示为图1中椭圆虚线框所示区域的放大图。
图4显示为本技术的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法的流程图。图5显示为本技术的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法的原理图。元件标号说明
S1～S2 步骤
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图4至图5。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
本技术提供一种基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法，请参阅图4，显示为该方法的流程图，包括以下步骤：
S1：当石墨舟进入镀膜机台时，获取石墨舟的舟号和当前使用次数，并将获得的石墨舟数据存储到镀膜机台服
务器中；
S2：通过MES系统服务器读取存储于所述镀膜机台服务器中的石墨舟数据，并显示到MES系统的显示屏上。
作为示例，所述镀膜机台为等离子增强化学气相沉积镀膜机台。本实施例中，以Centrotherm PECVD镀膜机台为例，每台镀膜机台均有一台电脑控制四根炉管，并通过CCCRM(Centrotherm Cell Controller Recipe Manager)软件来组织、管理和输入/输出工艺等。此处仅为示例，在其它实施例中，所述镀膜机台也可以采用其它型号的镀膜机台，此处不应过分限制本技术的保护范围。
所述MES系统即制造企业生产过程执行系统，是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统。MES可以为企业提供包括制造数据管理、计划排程管理、生产调度管理、库存管理、质量管理、人力资源管理、工作中心/设备管理、工具工装管理、采购管理、成本管理、项目看板管理、生产过程控制、底层数据集成分析、上层数据集成分解等管理模块。
作为示例，所述MES系统划分为9个模块：工单管理模块、生产流程追踪模块、基本资料管理模块(包含石墨舟管理系统)、物料管理模块、权限管理模块、报表模块、仓库模块、统计过程控制模块、IV查询模块。这9个模块从工单开立-工单发行-工单拨发料-工单生产-工单账务处理-制程过程测试数据-各账生产报表查询-工单入库作业-完工作业等作业流程于MES系统完成，工作人员通过MES可以清楚地了解工单生产账务处理，以及该工单目前制程状态等相关信息。
具体的，于所述步骤S1中，当石墨舟进入镀膜机台时，通过镀膜机台电脑软件界面手工输入石墨舟的舟号和当前使用次数，所述镀膜机台服务器将输入的石墨舟数据记录。于所述步骤S2中，所述MES系统服务器通过
JAVA程式读取所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容，并解析该文档中的内容，读取文档中的舟号
及使用次数写至数据库指定表中，所述MES系统服务器查询所述数据库指定表中的数据，并显示到所述显示屏上。
作为示例，所述文档内容的文档格式为.ini，由所述镀膜机台服务器自带。所述数据库采用Oracle数据库。具体的，石墨舟达到规定的使用次数后需要进行清洗，清洗后再重新上线。本实施例中，当石墨舟达到规定的使用次数后，并经过清洗后重新上线，所述MES系统服务器将该石墨舟原有的使用次数清零，重新开始计数。进一步的，当石墨舟达到规定的使用次数后，在所述MES系统中，将舟号状态变更为拆解时，所述MES系统服务器通过程序调取所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容，删除该石墨舟的舟号及使用次数数据。如图5所示，显示为本技术的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法的原理图。
为了保证数据更新的及时性，本技术中，所述MES系统服务器按照预设周期更新数据。作为示例，所述预设周期为一小时，即一小时更新一次数据，及时性强。当然，所述预设周期可以根据需要进行调整
具体的，所述MES系统服务器更新数据包括如下步骤：调用JAVA程式查询数据库中的石墨舟数据，并将所述数据库中的石墨舟数据与所述镀膜机台服务器记录石墨舟数据的文档内容进行对比，如果石墨舟数据发生变化，则将所述镀膜机台服务器上新的石墨舟数据写入数据库指定表中。
为了避免使用次数过多的石墨舟继续使用导致镀膜质量下降，本技术的基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法还进一步包括提醒的步骤。
基于MES系统的石墨舟使用次数统计方法与相关技术
