一种光刻机曝光使用夹具

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201920897678.2 （22）申请日 2019.06.14

（71）申请人 福建中科光芯光电科技有限公司

地址 362700 福建省泉州市石狮市高新区创新创业中心11#厂房1层

（10）申请公布号 CN210005855U

（43）申请公布日 2020.01.31

（72）发明人 欧祥勇

（74）专利代理机构 福州元创专利商标代理有限公司

代理人 黄诗锦

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种光刻机曝光使用夹具

（57）摘要

本实用新型提供一种光刻机曝光使用夹

具，包括工作台，所述工作台上放置有呈直角三棱柱且上表面用于放置圆晶片的载台，所述载台上表面为斜面，所述载台上表面一端固定连接有呈“L”型的凸块，所述凸块与载台之间形成用于固定卡住圆晶片的定位凹槽，所述载台下方中部具有真空圆槽，所述工作台内固定连接有气缸，所述气缸输出轴上同轴固定连接有与真空圆槽相配合且位于真空圆槽正下方的卡盘。本实用新型

结构简单，设计合理，使用方便，提高加工效率，具有实用性。

法律状态

法律状态公告日

2020-01-31

授权

法律状态信息

授权

法律状态

权利要求说明书

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