帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術事業處 QA/QC程序書 工程名稱:SMIC Fab8 Gas SP1 Project 施工日期:2006/06/01~2006/12/31 - 30 - QA&QC程序書 帆宣系統科技股份有限公司 氣體技術事業處
1. 概述
本程序書之目的,係在於規範出吾等從事於潔淨工程之所進行之QA/QC程序。並使得確保工程品質符合業主要求。
2. 參考文件
於半導體製造業中,潔淨工程中之任何程序,皆須符合下述相關文件:
SEMI Document ASTM Document Military Document ANSI/ASME Document ISO Standards
3. QA/QC程序
3.1. 概述
潔淨工程中之設計、物料、施工與測試等程序皆為QA/QC中之一環。表3-1為QA/QC程序概述流程圖:
3.2. QA/QC人員組織
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3.2.1. QA/QC人員組織表
Project Project Manager Manager Third Party Manager SPC QA/QC Third Party QA Team Construction TEAM QC/QC Design Material - 30 - QA&QC程序書
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帆宣系統科技股份有限公司潔淨工程 QA/QC 施工程序材料設計圖面修正施工人員資格確認1.與原設計相符2.品質合符要求N.O業主審核施工設備資格審核*系統初步確認配管測試完成O.K.配管溶接施工物料資格審核QA/QC Pass標示黏貼1.與原設計不相符合2.品質不合符要求N.O施工圖繪製配管安裝施工圖現場確認合格人員,設備,物料進場驗收配管加工施工準備* 文件記錄由本公司保存後送交業主回報業主O.K.施工修改設計修改施工圖面發放為 QA/QC 程序與SamplePiece 對照修改原設計圖面施工環境確認Test sample施工開始焊接參數修正支撐架組裝每日焊接環境參數設定表3-1 QA/QC程序概述流程圖
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3.3. 品管程序
QA/QC程序皆可於各程序書單元中見之。其QA/QC流程及相關文件記錄如下所述:
3.3.1. 施工前
包括施工圖面、人員、設備、物料等QA/QC程序
3.3.2. 施工圖面
施工圖面包括業主所核發之施工圖面及SPC所提供之施工圖,其圖面皆需經現場合對無誤後,發予施工相關人員。若圖面不合者,需立即反應後修改之,並再次送予業主審核,核可後才可進行施工(如附圖),且留存相關記錄。
NO 施工圖送SMIC審核 圖面修正 再送審 SMIC Fab8 SP1 施工圖繪製 確認OK NO 圖面修改,再送審 NO 開始預置施工 確認OK 施工圖與Site Superviser現場再會勘確認 - 30 - QA&QC程序書