一种MOCVD石墨盘自动传递机构

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201410274883.5 （22）申请日 2014.06.19

（71）申请人南昌大学;南昌黄绿照明有限公司

地址 330047 江西省南昌市南京东路235号

（10）申请公布号 CN104030037B

（43）申请公布日 2016.02.24

（72）发明人蒲勇;赵鹏

（74）专利代理机构江西省专利事务所

代理人张文

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

一种MOCVD石墨盘自动传递机构

（57）摘要

一种MOCVD石墨盘自动传递机构，属

于MOCVD装备制造技术领域。包括安装在反应室底板下面的固定座，升降直线导轨固接在固定座中上部；安装板固接在升降滑块上，在安装板上固接有两个轴承座组件，旋转轴紧配合安装在两个轴承座组件内套轴承的内圈上；直线推杆固接在固定座的下端，直线推杆的活动伸出端与铰接座相铰接，铰接座固接在与升降滑块固接在一起的轴承座上；步进电机固接在安装板下部；伸缩直线导轨固接在支撑板的中间；垫块固接在伸缩

滑块上，石墨盘传递叉的底端固接在垫块上，无杆气缸固接在支撑板的后部，伸缩滑块固接在垫块上。本发明机构应用在MOCVD上，提供了一种位置精度高、结构简单、造价低、工作可靠的MOCVD石墨盘自动传递机构。法律状态

法律状态公告日

2014-09-10 2014-09-10 2014-10-15 2014-10-15 2016-02-24 2016-02-24 2024-08-25

法律状态信息

公开公开

实质审查的生效实质审查的生效授权授权

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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