薄膜物理与技术-考试重点

薄膜物理与技术-考试重点

1． 真空环境的划分：①低真空（> 10Pa）；②中真空（10 —10Pa）；③高真空（10—10-5Pa）；④超高真空（< 10-5Pa）

真空蒸发沉积：高真空和超高真空（<10Pa） 溅射沉积：中、高真空（10—10Pa） 低压化学气相沉积：中、低真空（10—100Pa） 电子显微分析：高真空 材料表面分析：超高真空

2． 为了获得高真空蒸发系统，通常采用旋片式机械泵和涡轮分子泵两级真空泵联用，其中与真空室直接相连的是涡轮分子泵。 真空泵的原理和适用范围：

① 旋片式机械真空泵（输运式真空泵）：依靠安置在偏心转子中的可以滑进滑出的旋片将气体隔离、压缩，然后排出泵体之外。 >10Pa

② 涡轮分子泵（输运式真空泵）：高速旋转的叶片将动量传给气体分子，并使其向特定方向运动。 10—1Pa 溅射离子泵（捕获式真空泵）：高压下电离的气体分子撞击Ti阴极，溅射出大量活性很高的Ti原子，以吸附或化学反应的形式捕获大

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