电脑错误警示
电脑上显示:Boat Position Speed Out Of The Tolerance 结束Recipe,关CMI,重启Computer,正常
PECVD 5-L Parking: WSL: Called Channel does not exist. 给PLC断电,重启电脑后正常
Wrong Poti Readout报警 更换Poti并校准后正常
Arm Movement Rocked, Storage1 与 End Position Of Grip At Storage 参数不对,用备份文件覆盖后正常
WSL: Load Channel Does Not Exist 检查CMI并重启PC后正常
Boat Lost Homing
重新校准后，又发现舟进不到最大位，检查后发现管内碎片太多所制，清理碎片后一切正常
过程状态显示异常 重新初始化之后正常
Lost Homing. Check Poti 重新调整Poti后正常
WSL disconnect 重启CMI后正常
因操作员误拍急停，导致CMI报警无法去除
重启CMI后软件打不开，插拔CMI主机上所有连线后运行正常
Water Flow Flange, TGA st3报警
检查发现传感器流量偏小,手动调整后正常
镀膜问题 色差严重
Stack真空不良,SiH4气孔堵塞较重,更换石英管通孔,正常
石墨舟和片子颜色发白
经检查NH3的进气调压阀压力过大,重新调整后正常
镀膜不均匀,管内在管口的片子边缘发黄 更换石英管通孔后正常
片子不能镀上膜
检查后发现炉管口碎片多,清除碎片及炉门密封圈后,正常
交接班后运行镀膜工艺时,4根管子高频都会报警,不能运行工艺生产 检查后发现控制系统故障,调整后正常
PM时，OP人员清碎片时不慎弄坏石英管通气管 降温处理，重新更换后，正常
无法正常镀膜,流量异常.
重新连接并初始化设置后正常
冷却水
由于冷却水管报警引起管内温度不达标
调整冷却水流量计同时校准传感器参数后正常
机械臂
机械臂原点丢失
重新调整机械臂位置，复位后正常
机械臂感应不到舟
检查后发现爪子上石英小方垫块脱落，重新粘上后正常
机械臂Lift锁死，导致Arm无法复位 在Teach模式下复位后正常
机械臂死机 复位后正常
机械臂死掉不动,无法生产 调整机械臂滚轮,复位后正常
机械臂报警
检查机械臂上下位置无异常后发现Grip上微动开关插头松,插紧后运行正常
机械臂一侧皮带脱落,参数(机械臂两侧)位置偏差较大
重新接上皮带并调整机械臂的平衡度,以及与舟的相对位置后正常
机械臂无法取舟,电脑死机
检查后发现操作工输入信息太多所导,删除多余工艺,手动复位Arm及Lift后正常
机械臂取舟时会停在浆一半的位置
更换机械臂线后正常
机械臂抓手不在一直线 手动将抓手推平即可
屏幕在T_Spike测温区显示“??????”
检查后发现是REG97损坏，更换上下电路板，重启Can Address后正常
屏幕在Act测温区显示“??????”
检查后发现是TMM5损坏，更换上下电路板，重启Can Address后正常 重启Cesar后，正常
小车卡住 小车卡住
关闭CMI，取出小车后再开启CMI，正常
SLS和Poti问题 SLS无法上下移动
经检察发现电机传动联轴卡死，调整联轴器后，正常
SLS开关联轴器松脱导致浆在管中时间长而受热变形无法取出 将SLS开关联轴器重新装上,降温至200℃,待浆恢复后将舟取出
工艺结束后取舟失败，SLS在最大处和最小处都无法上升 调整Homing=0,复位，重启，调整Poti后正常
取舟时SLS显示不在上位
经检查发现SLS实际已到上位,重启CESAR后运行正常
屏幕状态有误
状态栏显示“Tubo=Busy”不能生产 复位后正常
管内无舟，状态栏显示“Tubo=Busy”不能生产
重启Cesar无用后，手动设定将空浆放入管内，复位后正常
管内有舟，状态栏显示“Tubo=Ready” 手动将浆取出，复位后正常
浆取舟后仍然显示下位“SLS=Down” 初始化复位后正常
舟浆问题 舟浆分离
手动调整舟在浆上的位置，并将浆推至2082 mm位置，初始化后正常
工艺结束出舟时舟浆分离
手动浆舟拉到浆上，初始化后正常
进舟Boat后，浆Paddle回不到零位 手动复位后，正常
无法进舟,发现手动移动Paddle,Poti值无变化 拆下Poti轴卡死,更换后正常
舟无法取出,SLS状态有误
冷启动将舟取出后无法执行工艺,重启CESAR后正常
进舟有抖动现象,发现机械臂与浆碰撞所致,退舟时由于浆受热变形将炉门口卡条带出
降温重新安装后正常
进舟后无法运行工艺 重启电脑后正常
工艺结束后无法取舟
检查后发现碎片太多,浆被压住,清理碎片后正常
浆退不到位
使用Manual/Recovery/handling初始化后正常
浆太低,炉门卡住 调整后正常
浆进不到位 初始化后正常
浆不能到最大位置,浆出来后不能抓舟 用电位器调整浆位置后正常
浆无法复位 Poti坏更换
浆无法退出,由于Y型嘴与卡住管子导致 降温重新调整后正常
自动退浆失败
用Recovery/Handling命令无效，经检查原来是Arm不在中位，用Teach
模式把Arm调整中位后再退舟。正常
自动退浆失败 复位后正常
不能上舟
调整TGA感应器位置后正常
不能上舟
重启CMI后正常
Lift/Arm的问题
Lift从Paddle上取Boat时死机 在Teach模式下复位后正常
带动机械Arm运动的联轴器断了 更换联轴器后正常
取舟失败
冷启动复位后正常
感应器感应不到浆上有舟
调整感应器无果,更换感应器后正常
Lift从小车上取舟到浆上时擦到管的浆上,同时Lift上下的导轨橡胶皮脱落.
将橡胶皮重新安装,手动调整Lift的机械并复位后正常
Lift在取舟到小车时,由于小车没有放到位,舟压在小车上, Lift被卡住 手动调整后正常
Lift不动作
重启CMI后正常
Arm死机
检查发现一侧石英垫片脱落,重新粘上,用Teach模式复位后正常
Lift不能动作
紧固CMI的各信号线,断电后正常
炉门
自动执行工艺，开门后炉门关不上，而状态一切正常 系统初始化后正常
PECVD故障汇总
