TFT-LCD Stage Mura的研究与改善
肖 洋，周 鹏，闫润宝*，郑云友，齐勤瑞，魏崇喜，章 旭，张 然
【摘 要】摘要：TFT-LCD面板在屏幕上有斑点或波浪状Mura，影响液晶显示器的品质，经过图形匹配，缺陷与曝光机机台形貌匹配。通过对异常区域特性分析，发现异常区域的BM CD、BM 像素间距存在异常。对原因进行模型分析：玻璃在曝光机基台上局部区域发生弯曲，曝光距离变短，致使BM PR受光区域变小，BM CD会偏小，进而导致区域性透过光不均一产生Mura；玻璃弯曲后BM 像素间距相对于设计位置也会发生变化，从而导致漏光产生Mura。经过实验验证，BM CD和像素间距的偏差主要由机台凸起导致glass弯曲引起，可以通过降低吸附压力和研磨机台，来改善CD差异和像素间距偏移，同时像素间距偏移漏光，也可以通过增加CD来改善。最终通过BM CD增加、研磨机台和降低吸附压力措施，Stage Mura不良率由10.05%下降至0.11%。 【期刊名称】液晶与显示 【年(卷),期】2017(032)004 【总页数】6
【关键词】关 键 词：薄膜晶体管液晶显示器；色斑；线宽；像素间距
1 引 言
薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)能够产生色彩的变化，主要是来自彩色滤光片(Color Filter，即CF) 。液晶面板是通过驱动集成电路(IC)的电压改变，使液晶分子排列呈站立或扭转状，形成闸门来选择背光源光线穿透与否，并通过彩色滤光片的红(R)、绿(G)、蓝(B)三种彩色层提供色相，形成彩色画面。随着TFT-LCD高世代量产线投产以及更大尺寸LCD面板的研制，与之配套的大尺
TFT-LCD Stage Mura的研究与改善
TFT-LCDStageMura的研究与改善肖洋，周鹏，闫润宝*，郑云友，齐勤瑞，魏崇喜，章旭，张然【摘要】摘要：TFT-LCD面板在屏幕上有斑点或波浪状Mura，影响液晶显示器的品质，经过图形匹配，缺陷与曝光机机台形貌匹配。通过对异常区域特性分析，发现异常区域的BMCD、BM像素间距存在异常。对原因进行模型分析：玻璃在曝光机基
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