CMOS兼容湿度传感器的研究进展

CMOS兼容湿度传感器的研究进展

严先蔚;秦明;黄庆安

【期刊名称】《电子器件》 【年(卷),期】2001(024)001

【摘要】In this paper, we present the design principle and fabrication method of six different CMOS compatible humidity sensors and their measuring circuits. The prospect of the humidity sensor is also discussed.%本文主要介绍几种与CMOS工艺兼容的湿度传感器的结构、工艺、特点以及处理电路，并对湿度传感器的发展趋势作了探讨。 【总页数】7页(48-54)

【关键词】CMOS兼容;湿度传感器 【作者】严先蔚;秦明;黄庆安

【作者单位】东南大学微电子中心,;东南大学微电子中心,;东南大学微电子中心, 【正文语种】中文 【中图分类】TP212.2 【相关文献】

1.湿度和湿度传感器及其应用：第二讲 湿度传感器分述（上） [J], 骆如枋 2.湿度和湿度传感器及其应用：第四讲 湿度传感器的几个主要问题 [J], 骆如枋 3.湿度和湿度传感器及其应用：第五讲 湿度传感器的定量校正 [J], 骆如枋 4.湿度和湿度传感器及其应用：第六讲 湿度传感器的应用实例 [J], 骆如枋 5.湿度传感器单元SYH—2及湿度传感器SY—HS—210 [J], 金元松; 陈锋