表1 国内外超净高纯电子级氢氟酸产能调研表（2012-7）
序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 2011年6月已进行年产3万吨电子级氢氟酸扩建项目环境影响报告书审批前公示。在现有0.7万吨/年的电子级氢氟酸基础上，再新建2.3万吨/年电子级氢氟酸装置。计划于2011年新建一套1.5万吨/年电子级HF生产装置，配套建设2万吨/年的无水氟化浙江巨化集团凯圣1. 氟化学有限公司凯恒电子材料公司 3 氢装置；2013年新建一套0.8万吨/年UP-S级HF生产装置。2012年初已发布了巨化0.7 1.5 0.8 ● ● ● 自创 股份关于凯圣公司年产6000吨ppt电子级氢氟酸固定资产投资项目的投资公告。项目采用引进技术，包括原料供应系统、HF纯化系统、稀释循环过滤系统、成品过滤系统和成品贮槽系统等内容。项目固定资产投资8300万元，预计2012年10月建成投产。（注：70%的ppt电子级氢氟酸主要用于LED晶圆生产，目前ppt级产品国内基本靠进口。） 浙江蓝苏氟化有限公司由浙江蓝天环保高科技股份有限公司、苏威氟控股(亚太)有限公司合资建立的中外合资企业，注册资金4000万元。公司于2006年11月19日开工建设2万吨/年无水氟化氢项目，2007年9月16日投产。选址在衢州高新技术产业园区华阳路39号。电子级氢氟酸项目引进苏威公司的先进生产技术，总投资3500万元，其中环保投资170万元。公司于2010年4月开工建设，2011年12月投入试运行。产浙江蓝苏氟化有限2. 0.5 公司 ● ● ● 苏威 品用于太阳能行业。苏威Solvay在华氢氟酸企业。根据2012年浙江省工业转型升级财政专项资金项目汇总表（衢州市区）列，项目总投资2838万元，审计后投资额1106万元，2012年正在申请省工业转型升级财政专项资金项目补助资金64万元。项目为年产5000吨电子级氢氟酸项目，可生产UP级、UPS级电子级氢氟酸。现有电子级氢氟酸等级有四级（从低到高分别为AR级、EL级、UP级、UPS级），现国内自有技术为AR级和EL级，蓝苏公司生产的电子级氢氟酸为UP级和UPS级。项目各项配套条件均落实，并已完工投产，质量已达到设计标准。 1 序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 日本Stella在华氢氟酸企业。 备注 浙江瑞星氟化工业3. 有限公司 2003年11月成立（金华市武义县青年胡处工业区），日本森田化学工业株式会社浙江森美化工有限4. 公司 （Morita Chemical）在华氢氟酸企业。无水氟化氢产能15 000吨。并于2004年12月 ● ● ● 取得ISO19001-2000、于2005年1月取得ISO14001认证。2009年2月森田化学半导体级氢氟酸增产设备完成。森田化学还与住友合资在张家港有限公司建有800吨/年的六氟磷酸锂厂。 5. 位于苏州市吴中经济开发区澄湖东路，是一家生产销售微电子业用超纯化学材料和其他精细化工产品的中港合资企业。品种包括氢氟酸、过氧化氢、异丙醇、氨水、硝酸、氟化铵等。目前主要量产品种的纯度为单项金属杂质含量小于1ppb。产品广泛应用于超大规模集成电路和TFT-LCD面板制造过程中的蚀刻与清洗。总体产能2万吨，公司江苏苏州晶瑞化学6. 0.7 0.7 公司 产品包括光刻胶和超净试剂，高纯氢氟酸产能7000多吨，占其利润一半，产品处于中 ● ● ● 苏威 高端水平，在行业中有较好口碑。其产品80%用于太阳能领域，20%用于半导体、TFT-LCD领域。2011年在建1万吨氢氟酸生产线，还计划在苏北建立1条8.3万吨级的生产线，开拓北方市场。UP-S级微电子用高纯度氢氟酸2008年获奖2007年中国半导体创新产品和技术项目。2009年度苏州市科技发展计划各类项目，经专家评审，公告确定了该公司UP-SS级微电子用超纯氢氟酸获得苏州市科技型企业技术创新资金专项项目。 江苏江阴市润玛电7. 0.1 0.1 子材料有限公司 8. 江苏江阴江化微电0.1 0.1
● ● ● ● 总产能约2500吨，产品包括硫酸、氨水、氢氟酸等，产品95%针对太阳能市场，仅5%针对半导体市场，公司总体路线是低价路线。 生产微电子化学品——紫外负性光刻胶及其紫外正、负性光刻胶配套试剂、超净高纯2
序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 试剂、通用化学试剂系列以及其它专用电子化学品5000吨能力，产品类型与晶瑞相似，但技术水平低于晶瑞。 子材料股份有限公司 江苏江阴化学品有9. 限公司 总体产能3000吨，主要产品是CMOS级、MOS级和低颗粒高纯试剂。 即金城试剂厂，还包括金城精细化工厂、精细化工二厂和金城公司昆山分公司等，是 江苏昆山金城试剂10. 有限公司 江苏最大的专业生产化学试剂产品的企业之一。高纯试剂： 包括高纯无机酸类（盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸等）及部分有机溶剂（醇、酮、酯及苯类），纯度为4N、5N（99.99%、99.999%）的金属氧化物（铋、铅、碲、钨、钼、锆）。 江苏苏州旭昌化学11. 科技（昆山）有限公0.8 司 江苏昆山市富乐化12. 工有限公司 0.8 ● 苏州市发展和改革委员会2012-1-30发布新建项目核准的批复，该项目位于昆山市千灯镇精细化工区，其中电子级氢氟酸清洗剂8000吨。 专业生产工业级氢氟酸、电子级、分析纯、超高纯氢氟酸、氟硼酸、氟硼酸亚锡、氟硼酸铅、氟化铵、氟化氢铵等氟化物产品及硝酸、盐酸、硫酸、无水乙醇、氢氧化钠、双氧水、丙酮等。年总产量达到10000多余吨，年产氢氟酸为5000吨、氟硼酸为1000吨、双氧水为800吨硝酸为3000吨，盐酸为1500吨等。氢氟酸产品为试剂级、电子级、mos级。 江苏三美化工股份13. 有限公司 江苏南通2011-07对江苏三美化工有限公司（在如东洋口化学工业园如东）年产6万吨ODS替代品(包括年产1万吨二氟甲烷、1万吨五氟乙烷、1万吨三氟乙烷、2万吨 1 ● ● 四氟乙烷及1万吨五氟丙烷)、5万吨无水氟化氢、1万吨高纯电子级氢氟酸、3万吨偏二氯乙烯、3万吨三氯乙烯、0.5万吨聚偏二氟乙烯树脂；联产19万吨石膏、17万吨盐酸、0.55万吨40%氢氟酸、0.6万吨氟硅酸、0.1万吨四氯乙烯及850吨六氟丙烯项目进行了审批公示。
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序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 最专业的高活性氟化钾设计制造商：南通市明鑫化工有限公司专业生产结晶氟化钾、无水氯化钙。生产氢氟酸、氯化钾、氯化钙、钝化液，同时经营硫酸、硝酸、盐酸、氟化氢铵、氟化氢钾等。 江苏海安南通明鑫14. 化工有限公司 江苏南京苏纯化工15. 科技有限公司 南京苏纯化工科技有限公司是一家领先的超净高纯电子化学品与水处理化学品提供商。其超净高纯-氢氟酸（40%/49%）纯度规格EL级/UP级/UP-S级， 道达尔集团阿科玛Arkema在华氢氟酸企业。1996年6月成立的中国第一家致力于拓销无水氢氟酸及氟利昂替代品的外商投资企业。目前拥有三个项目：分别为生产销售 江苏阿科玛（常熟）16. 氟化工有限公司 HF及F22的氟化工项目，生产共聚酰胺类的热熔胶项目，以及有机过氧化物项目，总投资超过六千万美元。公司于2000年5月正式投产，目前生产无水氢氟酸20000吨、FORANE22达35000吨，并正在为增产建设。 2009-9月下旬，项目破土动工，2010-5月底完成。生产厂房采用钢架结构以及采用普福建邵武永飞化工17. 1.5 0.3 有限公司 1.2 ● ● ● 通优等品AHF为生产原料。9月15日公司顺利完成“15000吨/年高纯超净氢氟酸（电子级氢氟酸）项目”福建省外经贸区域协调发展促进资金的申报工作。供货于日本关东电化。 福建南平市顺昌县埔上镇，无水氟化氢3万吨/年，氟化盐系列产品8千吨/年、氟表面活性剂20吨/年。拟投资6亿以上，开发电子级氢氟酸、电子级双氧水等7个以精细化工产品为主的项目。2010年已环评公示。计划2011年建成投产。超纯电子级氢福建顺昌富宝腾达18. 化工有限公司 1 0.2 0.8 ● 氟酸工艺流程简述：经计量的氢氟酸及电子级纯水进入蒸发器，加热汽化，然后进入精馏塔，塔顶汽体经冷凝器冷凝成超纯氢氟酸，放至超纯氢氟酸贮槽。未冷凝气体再经尾气吸收塔吸收处理。超纯有水氢氟酸的制备：超纯氢氟酸储槽为高浓度超纯氢氟酸，需经稀释到不同要求浓度的超纯有水氢氟酸，稀释用水必须是电子级用纯水，稀释后的超纯有水氢氟酸必须经过严格的质量检测，其阳性金属离子含量，阴性离子含
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序号 生产厂家 产能（万吨/年） 产品等级 技术合计 已建 在建 拟建 EL UP UPS 来源 备注 量，尘粒直径及颗粒数，需用先进的分析仪器，作超痕量检测，合格后在洁净环境下进行包装（1万级洁净区）。电子级纯水制备：原水经初级物理性去杂质过滤，再经RO逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水，再经最先进的EDI膜去除痕量的阴阳离子，得到电子级纯水。 公司成立于2004年，是一家外商独资企业，公司总占地面积约240亩，拥有员工超过400多人，其中技术人员100余名。下属有邵武华新化工有限公司、厦门美迪化工有限公司、光泽美迪化工有限公司、邵武华孚新材料发展有限公司四家公司。公司生产基地地处福建北部，有丰富而优质的萤石资源，成立以来致力于氟化工系列产品的研发和生产销售。目前已建成无水氟化氢4.5万砘、氟化氢铵（氟化铵）10000吨、干法氟化铝3万吨、氟碳表面活性剂系列80吨、优级纯氢氟酸6000吨的生产线。2011年福建邵武华新化工19. 有限公司 5月电子氢氟酸项目环评，厂址定在金塘氟化学分公司现有厂区内邵武金塘工业园区。1 1 ● ● 扩建1套10000 t/a超纯电子级氢氟酸生产线和1套电子级纯水制备装置，新增一座成品仓库及罐区。主要生产工艺：（1）纯净水制备工艺：原水经初级物理性去杂质过滤，再经RO逆渗透膜去除阴阳离子，得到初级纯水，再经最先进的EDI膜去除痕量的阴阳离子，得到电子级纯水。（2）高纯氢氟酸制备工艺：氢氟酸与电子级纯水进入蒸发器加热气化后，以蒸汽形式进入精馏塔，釜底主要为少量的残渣；塔顶生成为低沸点的HF，经过冷凝后部分回流到精馏塔内，部分做为产品，保存到成品储罐内。冷凝器内少量的HF气体挥发到尾气吸收塔，用电子级水吸收生成高纯有水氢氟酸，再少量的HF气体经过二级水吸收和碱液吸收生产氟化钙石膏。建设期2011-2012年。 福建省建阳山水化20. 工有限公司 公司主要化工产品有：工业氢氟酸、无水氟化氢、化学试剂氢氟酸、电子级氢氟酸、 氟化氢铵、氟化铵、氟硼酸、氟硅酸、氟硼酸钠、氟硅酸钾、氟化氢钾、氟硅酸钠、氟硼酸钾、氟化钠等，公司主要矿产品有：酸级萤石精粉、冶金级萤块矿、粒矿、萤
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国内外超净高纯氢氟酸产能调研讲义
