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分峰XPS Peak 步骤
实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。激发 源为
AlK aX射线，功率约300 W。分析时的基础真空为3X10\9 mbar。电子结合能用污染碳的 C1s峰(284.6 eV)校正。
X-ray photoelectr on spectroscopy data were obta ined with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlK a radiation. The base pressure was about 310-9 mbar. The binding en ergies were refere need to the C1s line at 284.6 eV from adve ntitious carb on.
XPS数据考盘后的处理数据步骤
数据是.TXT文件，凡是可以打开TXT文件的软件都可以使用。下面以 origi n5.0 为例：
1. open文件，可以看到一列数据，找到 Region 1(一个Region对应一张谱
图)。
2. 继续向下找到Kinetic Energy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图
左侧第一个数据。用公式BE始=1486.6-KE始-换算成结合能起始值， 是一个常数值，即荷电位移，每个样品有一个值在邮件正文中给出。 3. 再下面一个数据是步长值，如0.05或0.1或1,每张谱图间有可能不一
样。
4. 继续向下8行，可以找到401或801这样的数，该数为通道数，即有 401
或801个数据点。
5. 再下面的数据开始两个数据是脉冲，把它们舍去，接下来的401或801
个数据都是丫轴数据，将它们copy到B(Y)。
6. X轴：点A(X)，再点右键，然后点set column values出现一个对话
框，在from中填1,在to中填401(通道数)，在col(A)中填BE始- 0.05*(i-1)，最后点 do it。
7. 此时即可以作出一张图。
8. 从Region 2可以作出第二张图。依此类推。
XPS Peak分峰步骤
1 ?将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入 Origin后，将
column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边 为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中 一部分数据，需在Origin中做好处理。
2?打开XPS Peak,引入数据：点Data----lmport（ASCII），引入所存数据，则出 现
相应的XPS谱图。
3?选择本底：点Background，在所出现的小框中的 High BE和Low BE下方分 别选
取本底的起始和终点位置，则本底将连接这两点， 选择。
4. 选峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型
（如C1s峰则选s， S2p峰则选p），在Position处选择希望的峰位，需固定 时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM ）、峰面积等。各项中的 constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如 Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距 可固定为3.45,峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后 再点Add peak选第二个峰，如此重复。 5. 后，点
选好所需拟合的峰个数及大致参数Optimise region进行拟合，观察拟
Type可据实际情况
合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点 Optimise regio n。
6?拟合完成后，分别点另一个窗口中的 Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每
个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不满意， 可改变这些峰的参数，然后再点
Optimise regio n。
7?点Save XPS存图，下回要打开时点 Open XPS就可以打开这副图继续进行 处
理。
8. 点Data --- Print with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积 可
计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
9. 点Data --- Export to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文 档
(如Word文档)，点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。 10.
点Data ---- Export (spectrum)，则将拟合好的数据存盘，然后在
Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在 Origin中作出拟合后的 图。
XPSPeak分峰步骤origin讲解学习
