电子级氢氟酸生产加工项目规划设计方案

电子级氢氟酸生产加工项目

规划设计方案

投资分析/实施方案

摘要

电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，电子级氟化氢需求不断提高。

世界高端半导体市场长期以来被日本占领，经过经10年的发展，中国涌现出以安集、新阳、多氟多、江峰等企业为代表的高端电子化学品企业，根据用途的不同，电子级氢氟酸被分为EL、UP、UPS、UPSS。

该电子级氢氟酸项目计划总投资11427.48万元，其中：固定资产投资9707.34万元，占项目总投资的84.95%；流动资金1720.14万元，占项目总投资的15.05%。

本期项目达产年营业收入14787.00万元，总成本费用11729.13万元，税金及附加187.51万元，利润总额3057.87万元，利税总额3667.16万元，税后净利润2293.40万元，达产年纳税总额1373.76万元；达产年投资利润率26.76%，投资利税率32.09%，投资回报率20.07%，全部投资回收期6.48年，提供就业职位307个。

电子级氢氟酸生产加工项目规划设计方案目录

第一章 基本信息

一、项目名称及建设性质 二、项目承办单位 三、战略合作单位 四、项目提出的理由 五、项目选址及用地综述 六、土建工程建设指标 七、设备购置 八、产品规划方案 九、原材料供应 十、项目能耗分析 十一、环境保护

十二、项目建设符合性 十三、项目进度规划

十四、投资估算及经济效益分析 十五、报告说明 十六、项目评价 十七、主要经济指标

第二章 背景和必要性研究

一、项目承办单位背景分析 二、产业政策及发展规划 三、鼓励中小企业发展 四、宏观经济形势分析 五、区域经济发展概况 六、项目必要性分析

第三章 市场调研分析 第四章 投资方案

一、产品规划 二、建设规模

第五章 项目选址方案

一、项目选址原则 二、项目选址 三、建设条件分析 四、用地控制指标 五、用地总体要求 六、节约用地措施 七、总图布置方案 八、运输组成

九、选址综合评价

第六章 项目土建工程

一、建筑工程设计原则 二、项目工程建设标准规范 三、项目总平面设计要求 四、建筑设计规范和标准

五、土建工程设计年限及安全等级 六、建筑工程设计总体要求 七、土建工程建设指标

第七章 工艺可行性分析

一、项目建设期原辅材料供应情况 二、项目运营期原辅材料采购及管理 二、技术管理特点

三、项目工艺技术设计方案 四、设备选型方案

第八章 环境保护说明

一、建设区域环境质量现状 二、建设期环境保护 三、运营期环境保护

四、项目建设对区域经济的影响

五、废弃物处理

六、特殊环境影响分析 七、清洁生产

八、项目建设对区域经济的影响 九、环境保护综合评价

第九章 项目安全规范管理

一、消防安全

二、防火防爆总图布置措施 三、自然灾害防范措施

四、安全色及安全标志使用要求 五、电气安全保障措施 六、防尘防毒措施

七、防静电、触电防护及防雷措施 八、机械设备安全保障措施 九、劳动安全保障措施

十、劳动安全卫生机构设置及教育制度 十一、劳动安全预期效果评价

第十章 项目风险评估分析

一、政策风险分析 二、社会风险分析

三、市场风险分析 四、资金风险分析 五、技术风险分析 六、财务风险分析 七、管理风险分析 八、其它风险分析 九、社会影响评估

第十一章 节能可行性分析

一、节能概述

二、节能法规及标准

三、项目所在地能源消费及能源供应条件 四、能源消费种类和数量分析 二、项目预期节能综合评价 三、项目节能设计 四、节能措施

第十二章 实施计划

一、建设周期 二、建设进度

三、进度安排注意事项 四、人力资源配置

五、员工培训 六、项目实施保障

第十三章 项目投资方案

一、项目估算说明 二、项目总投资估算 三、资金筹措

第十四章 盈利能力分析

一、经济评价综述 二、经济评价财务测算 二、项目盈利能力分析

第十五章 项目招投标方案

一、招标依据和范围 二、招标组织方式

三、招标委员会的组织设立 四、项目招投标要求

五、项目招标方式和招标程序 六、招标费用及信息发布

第十六章 结论

附表1：主要经济指标一览表 附表2：土建工程投资一览表

附表3：节能分析一览表 附表4：项目建设进度一览表 附表5：人力资源配置一览表 附表6：固定资产投资估算表 附表7：流动资金投资估算表 附表8：总投资构成估算表

附表9：营业收入税金及附加和增值税估算表 附表10：折旧及摊销一览表 附表11：总成本费用估算一览表 附表12：利润及利润分配表 附表13：盈利能力分析一览表

第一章 基本信息

一、项目名称及建设性质 （一）项目名称

电子级氢氟酸生产加工项目 （二）项目建设性质

该项目属于新建项目，依托xxx经济合作区良好的产业基础和创新氛围，充分发挥区位优势，全力打造以电子级氢氟酸为核心的综合性产业基地，年产值可达15000.00万元。

二、项目承办单位 xxx实业发展公司 三、战略合作单位 xxx科技公司

四、项目提出的理由

电子级氢氟酸是由无水氢氟酸经进一步处理得到的高端氢氟酸产品。电子级氢氟酸主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀领域，是微电子行业生产所需的关键基础化工原材料之一。随着我国集成电路、半导体等行业快速发展，电子级氢氟酸市场需求不断增长，推动我国电子级氢氟酸行业产量不断上升。

我国氢氟酸产能“小而散”，高准入门槛及相关政策严控产能产量。氢氟酸是氟化氢（化学式：HF）的水溶液，其与水的恒沸物中含38%（质量分数）HF，为一种弱酸。而无水氢氟酸（AHF）为液态氟化氢，其酸性极强，是氟化工产业链的关键中间产品，为大多数氟化物最普遍和最基本的原料，可用于制备下游氟烷烃、氟化盐、含氟精细化学品、含氟聚合物等。工业中的AHF由浓硫酸与酸级萤石精粉（氟化钙纯度高于97%）反应制得，其具有强腐蚀性、毒性、易对人体及环境造成危害等特点，属于危化品。从行业格局上看，我国氢氟酸上下游主要配套在萤石资源丰富的区域内，以华东为主，产能“小而散”，生产存在污染严重、产能分散且利用率低、行业集中度低等问题。近年来国家各部委和部门出台了一系列条例和准则来规范行业发展，氢氟酸的生产、贮藏、运输等环节均受到国家严格管控与限制，氢氟酸装置开工条件及产能投放等均受到制约。

五、项目选址及用地综述 （一）项目选址方案

项目选址位于xxx经济合作区,地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，建设条件良好。

（二）项目用地规模

项目总用地面积34223.77平方米（折合约51.31亩），土地综合利用率100.00%；项目建设遵循“合理和集约用地”的原则，按照电子

级氢氟酸行业生产规范和要求进行科学设计、合理布局，符合规划建设要求。

六、土建工程建设指标

项目净用地面积34223.77平方米，建筑物基底占地面积24025.09平方米，总建筑面积38330.62平方米，其中：规划建设主体工程29244.74平方米，项目规划绿化面积2489.70平方米。

七、设备购置

项目计划购置设备共计96台（套），主要包括：xxx生产线、xx设备、xx机、xx机、xxx仪等，设备购置费4037.31万元。

八、产品规划方案

根据项目建设规划，达产年产品规划设计方案为：电子级氢氟酸xxx单位/年。综合考xxx实业发展公司企业发展战略、产品市场定位、资金筹措能力、产能发展需要、技术条件、销售渠道和策略、管理经验以及相应配套设备、人员素质以及项目所在地建设条件与运输条件、xxx实业发展公司的投资能力和原辅材料的供应保障能力等诸多因素，项目按照规模化、流水线生产方式布局，本着“循序渐进、量入而出”原则提出产能发展目标。

九、原材料供应

项目所需的主要原材料及辅助材料有：xxx、xxx、xx、xxx、xx等，xxx实业发展公司所选择的供货单位完全能够稳定供应上述所需原料，供货商可以完全保障项目正常经营所需要的原辅材料供应，同时能够满足xxx实业发展公司今后进一步扩大生产规模的预期要求。

十、项目能耗分析

1、项目年用电量698527.11千瓦时，折合85.85吨标准煤，满足电子级氢氟酸生产加工项目项目生产、办公和公用设施等用电需要

2、项目年总用水量16160.58立方米，折合1.38吨标准煤,主要是生产补给水和办公及生活用水。项目用水由xxx经济合作区市政管网供给。

3、电子级氢氟酸生产加工项目项目年用电量698527.11千瓦时，年总用水量16160.58立方米，项目年综合总耗能量（当量值）87.23吨标准煤/年。达产年综合节能量27.55吨标准煤/年，项目总节能率25.84%，能源利用效果良好。

十一、环境保护

项目符合xxx经济合作区发展规划，符合xxx经济合作区产业结构调整规划和国家的产业发展政策；对产生的各类污染物都采取了切

实可行的治理措施，严格控制在国家规定的排放标准内，项目建设不会对区域生态环境产生明显的影响。

项目设计中采用了清洁生产工艺，应用清洁原材料，生产清洁产品，同时采取完善和有效的清洁生产措施，能够切实起到消除和减少污染的作用。项目建成投产后，各项环境指标均符合国家和地方清洁生产的标准要求。

十二、项目建设符合性 （一）产业发展政策符合性

由xxx实业发展公司承办的“电子级氢氟酸生产加工项目”主要从事电子级氢氟酸项目投资经营，其不属于国家发展改革委《产业结构调整指导目录（2011年本）》（2013年修正）有关条款限制类及淘汰类项目。

（二）项目选址与用地规划相容性

电子级氢氟酸生产加工项目选址于xxx经济合作区，项目所占用地为规划工业用地，符合用地规划要求，此外，项目建设前后，未改变项目建设区域环境功能区划；在落实该项目提出的各项污染防治措施后，可确保污染物达标排放，满足xxx经济合作区环境保护规划要

求。因此，建设项目符合项目建设区域用地规划、产业规划、环境保护规划等规划要求。

（三）“三线一单”符合性

1、生态保护红线：电子级氢氟酸生产加工项目用地性质为建设用地，不在主导生态功能区范围内，且不在当地饮用水水源区、风景区、自然保护区等生态保护区内，符合生态保护红线要求。

2、环境质量底线：该项目建设区域环境质量不低于项目所在地环境功能区划要求，有一定的环境容量，符合环境质量底线要求。

3、资源利用上线：项目营运过程消耗一定的电能、水，资源消耗量相对于区域资源利用总量较少，符合资源利用上线要求。

4、环境准入负面清单：该项目所在地无环境准入负面清单，项目采取环境保护措施后，废气、废水、噪声均可达标排放，固体废物能够得到合理处置，不会产生二次污染。

十三、项目进度规划

本期工程项目建设期限规划12个月。项目承办单位要在技术准备、人员配备、施工机械、材料供应等方面给予充分保证。对于难以预见的因素导致施工进度赶不上计划要求时及时研究，项目建设单位要认真制定和安排赶工计划并及时付诸实施。

十四、投资估算及经济效益分析 （一）项目总投资及资金构成

项目预计总投资11427.48万元，其中：固定资产投资9707.34万元，占项目总投资的84.95%；流动资金1720.14万元，占项目总投资的15.05%。

（二）资金筹措

该项目现阶段投资均由企业自筹。 （三）项目预期经济效益规划目标

项目预期达产年营业收入14787.00万元，总成本费用11729.13万元，税金及附加187.51万元，利润总额3057.87万元，利税总额3667.16万元，税后净利润2293.40万元，达产年纳税总额1373.76万元；达产年投资利润率26.76%，投资利税率32.09%，投资回报率20.07%，全部投资回收期6.48年，提供就业职位307个。

十五、报告说明

作为投资决策前必不可少的关键环节，报告是在前一阶段的报告获得审批通过的基础上，主要对项目市场、技术、财务、工程、经济和环境等方面进行精.确系统、完备无遗的分析，完成包括市场和销售、规模和产品、厂址、原辅料供应、工艺技术、设备选择、人员组织、

实施计划、投资与成本、效益及风险等的计算、论证和评价，选定最佳方案，依此就是否应该投资开发该项目以及如何投资，或就此终止投资还是继续投资开发等给出结论性意见，为投资决策提供科学依据，并作为进一步开展工作的基础。

十六、项目评价

1、本期工程项目符合国家产业发展政策和规划要求，符合xxx经济合作区及xxx经济合作区电子级氢氟酸行业布局和结构调整政策；项目的建设对促进xxx经济合作区电子级氢氟酸产业结构、技术结构、组织结构、产品结构的调整优化有着积极的推动意义。

2、xxx公司为适应国内外市场需求，拟建“电子级氢氟酸生产加工项目”，本期工程项目的建设能够有力促进xxx经济合作区经济发展，为社会提供就业职位307个，达产年纳税总额1373.76万元，可以促进xxx经济合作区区域经济的繁荣发展和社会稳定，为地方财政收入做出积极的贡献。

3、项目达产年投资利润率26.76%，投资利税率32.09%，全部投资回报率20.07%，全部投资回收期6.48年，固定资产投资回收期6.48年（含建设期），项目具有较强的盈利能力和抗风险能力。

4、民营企业贴近市场、嗅觉敏锐、机制灵活，在推进企业技术创新能力建设方面起到重要作用。认定国家技术创新示范企业和培育工业设计企业，有助于企业技术创新能力进一步升级。同时，大量民营企业走在科技、产业、时尚的最前沿，能够综合运用科技成果和工学、美学、心理学、经济学等知识，对工业产品的功能、结构、形态及包装等进行整合优化创新，服务于工业设计，丰富产品品种、提升产品附加值，进而创造出新技术、新模式、新业态。引导民间投资参与制造业重大项目建设，国务院办公厅转发财政部发展改革委人民银行《关于在公共服务领域推广政府和社会资本合作模式指导意见》，要求广泛采用政府和社会资本合作（PPP）模式。为推动《中国制造2025》国家战略实施，中央财政在工业转型升级资金基础上整合设立了工业转型升级（中国制造2025）资金。围绕《中国制造2025》战略，重点解决产业发展的基础、共性问题，充分发挥政府资金的引导作用，带动产业向纵深发展。重点支持制造业关键领域和薄弱环节发展，加强产业链条关键环节支持力度，为各类企业转型升级提供产业和技术支撑。

综上所述，项目的建设和实施无论是经济效益、社会效益还是环境保护、清洁生产都是积极可行的。

十七、主要经济指标

主要经济指标一览表

序号 1 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 2 2.1 2.1.1 2.1.1.1 2.1.2 2.1.2.1 2.1.3 2.1.3.1 2.1.4 2.2 2.2.1 3 4 5 6 项目 占地面积 容积率 建筑系数 投资强度 基底面积 总建筑面积 绿化面积 总投资 固定资产投资 土建工程投资 土建工程投资占比 设备投资 设备投资占比 其它投资 其它投资占比 固定资产投资占比 流动资金 流动资金占比 收入 总成本 利润总额 净利润 单位 平方米 指标 34223.77 1.12 70.20% 189.19 24025.09 38330.62 2489.70 11427.48 9707.34 3446.64 30.16% 4037.31 35.33% 2223.39 19.46% 84.95% 1720.14 15.05% 14787.00 11729.13 3057.87 2293.40 备注 51.31亩 万元/亩 平方米 平方米 平方米 万元 万元 万元 万元 万元 绿化率6.50% 万元 万元 万元 万元 万元 万元 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 所得税 增值税 税金及附加 纳税总额 利税总额 投资利润率 投资利税率 投资回报率 回收期 设备数量 年用电量 年用水量 总能耗 节能率 节能量 员工数量 万元 万元 万元 万元 万元 1.12 421.78 187.51 1373.76 3667.16 26.76% 32.09% 20.07% 6.48 96 698527.11 16160.58 87.23 25.84% 27.55 307 年 台（套） 千瓦时 立方米 吨标准煤 吨标准煤 人 第二章 背景和必要性研究

一、项目承办单位背景分析 （一）公司概况

公司一直秉承“坚持原创，追求领先”的经营理念，不断创造令客户惊喜的产品和服务。公司坚持以科技创新为动力，建立了基础设施较为先进的技术中心，建成了较为完善的科技创新体系。通过自主研发、技术合作和引进消化吸收等多种途径，不断推动产品技术升级。公司主导产品质量和生产工艺居国内领先水平，具有显著的竞争优势。

公司经过多年的不懈努力，产品销售网络遍布全国各省、市、自治区；完整的产品系列和精益求精的品质使企业的市场占有率不断提高，除国内市场外，公司还具有强大稳固的国外市场网络；项目承办单位一贯遵循“以质量求生存，以科技求发展，以管理求效率，以服务求信誉”的质量方针，努力生产高质量的产品，以优质的服务奉献社会。公司主要客户在国内、国外均衡分布，没有集中度过高的风险，并不存在对某个或某几个固定客户的重大依赖，公司采购的主要原材料市场竞争充分，供应商数量众多，在采购方面具有非常大的自主权，项目承办单位通过供应商评价体系与部分供应商建立了长期合作关系，不存在对单一供应商依赖的风险。公司是强调项目开发、设计和经营

服务的科技型企业，严格按照高新技术企业规范财务制度。截止2017年底，公司经济状况无不良资产发生，并严格控制企业高速发展带来的高资产负债率。同时，为了创新需要及时的资金作保证，公司对研究开发经费的投入和使用制定了相应制度，每季度审核一次开发经费支出情况，适时平衡各开发项目经费使用，最大限度地保证开发项目的资金落实。

为实现公司的战略目标，公司在未来三年将进一步坚持技术创新，加大研发投入，提升研发设计能力，优化工艺制造流程；扩大产能，提升自动化水平，提高产品品质；在巩固现有业务的同时，积极开拓新客户，不断提升产品的市场占有率和公司市场地位；健全人才引进和培养体系，完善绩效考核机制和人才激励政策，激发员工潜能；优化组织结构，提升管理效率，为公司稳定、快速、健康发展奠定坚实基础。公司坚守企业契约精神，专业为客户提供优质产品，致力成为行业领先企业，创造价值，履行社会责任。

（二）公司经济效益分析

上一年度，xxx公司实现营业收入9083.30万元，同比增长20.88%（1569.09万元）。其中，主营业业务电子级氢氟酸生产及销售收入为7547.32万元，占营业总收入的83.09%。

上年度主要经济指标

序号 1 2 2.1 2.2 2.3 2.4 2.5 2.6 2.7 3 项目 营业收入 主营业务收入 电子级氢氟酸(A) 电子级氢氟酸(B) 电子级氢氟酸(C) 电子级氢氟酸(D) 电子级氢氟酸(E) 电子级氢氟酸(F) 电子级氢氟酸(...) 其他业务收入 第一季度 1907.49 1584.94 523.03 364.54 269.44 190.19 126.79 79.25 31.70 322.56 第二季度 2543.32 2113.25 697.37 486.05 359.25 253.59 169.06 105.66 42.26 430.07 第三季度 2361.66 1962.30 647.56 451.33 333.59 235.48 156.98 98.12 39.25 399.35 第四季度 2270.82 1886.83 622.65 433.97 320.76 226.42 150.95 94.34 37.74 383.99 合计 9083.30 7547.32 2490.62 1735.88 1283.04 905.68 603.79 377.37 150.95 1535.98 根据初步统计测算，公司实现利润总额1878.33万元，较去年同期相比增长268.03万元，增长率16.64%；实现净利润1408.75万元，较去年同期相比增长241.29万元，增长率20.67%。

上年度主要经济指标

项目 完成营业收入 完成主营业务收入 主营业务收入占比 营业收入增长率（同比） 营业收入增长量（同比） 利润总额 单位 万元 万元 9083.30 7547.32 83.09% 20.88% 1569.09 1878.33 指标 万元 万元 利润总额增长率 利润总额增长量 净利润 净利润增长率 净利润增长量 投资利润率 投资回报率 财务内部收益率 企业总资产 流动资产总额占比 流动资产总额 资产负债率 万元 万元 16.64% 268.03 1408.75 20.67% 241.29 29.43% 22.08% 20.66% 28492.59 25.25% 7194.72 35.17% 万元 万元 万元 万元 二、电子级氢氟酸项目背景分析

世界高端半导体市场长期以来被日本占领，经过经10年的发展，中国涌现出以安集、新阳、多氟多、江峰等企业为代表的高端电子化学品企业，根据用途的不同，电子级氢氟酸被分为EL、UP、UPS、UPSS。

英文名hydrofluoricacid，分子式HF，分子量20.01。为无色透明液体，相对密度1.15～1.18，沸点112.2℃，在空气中发烟，有刺激性气味，剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，生成各种盐类。腐蚀性极强，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇，难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用。

以上提纯技术各有特性，各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，气体吸收技术可以用于大规模的生产。另外，由于氢氟酸的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重，因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。

将无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下(百级以下)进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。

应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。

自中国实现无水氢氟酸的工业化生产以后，为中国进入高纯电子级氢氟酸提供了原料保障，以多氟多、巨化集团为首的行业领军企业带领中国氟化工进入了新的历史时代。

三、电子级氢氟酸项目建设必要性分析

电子级氢氟酸是由无水氢氟酸经进一步处理得到的高端氢氟酸产品。电子级氢氟酸主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀领域，是微电子行业生产所需的关键基础化工原材料之一。随着我国集成电路、半导体等行业快速发展，电子级氢氟酸市场需求不断增长，推动我国电子级氢氟酸行业产量不断上升。

2010-2016年，我国电子级氢氟酸行业产量由3.9万吨增长至12.5万吨，年均复合增长率为21.4%;2017年，我国电子级氢氟酸行业产量达到15.0万吨以上。受下游市场需求不断增长的推动，我国电子级氢氟酸行业产量快速上升。

电子级氢氟酸下游应用市场涉及集成电路、半导体、太阳能光伏、液晶显示等微电子行业，以及用作分析试剂和制备高纯度含氟化学品等领域。我国电子级氢氟酸应用市场中，微电子行业占据大部分份额，其他领域应用占比较小。在国家政策的推动以及市场需求的带动下，我国集成电路、太阳能光伏、液晶显示行业规模迅速扩张，因此我国电子级氢氟酸行业发展势头强劲。

按照用途的不同，电子级氢氟酸可以分为EL、UP、UPS、UPSS四个级别，其中，UPSS级别是现阶段最先进的级别。在行业发展初期，全球高端电子级氢氟酸市场主要被日本企业所垄断。我国电子级氢氟

酸行业起步较晚，在下游市场快速发展的推动下，我国电子级氢氟酸行业技术水平不断提升，涌现出多氟多、安集、新阳、江峰等高端电子级氢氟酸生产企业，其中，多氟多能够生产和大规模应用UPSS级别电子级氢氟酸，处于行业领先地位。

2024年，多氟多电子级氢氟酸销售规模达到了3000吨/年，毛利率达到了70.0%左右，远大于无水氢氟酸利润水平。由于我国萤石价格不断提高，氢氟酸产品价格持续上涨，利好电子级氢氟酸行业发展。2024年，多氟多电子级氢氟酸产能及产量将继续提升，销售规模将进一步扩大。由此可以看出，我国电子级氢氟酸行业发展潜力巨大。

目前，国产电子级氢氟酸用量只占到国内需求的不足5%，仍几乎完全依赖进口。电子级氢氟酸是应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片制作过程的高端化工材料之一。2017年之前，国内芯片行业所用的电子级氢氟酸几乎全靠从日本、美国、欧洲等国家和地区进口。

萤石是重要的战略性不可再生资源，在市场需求快速增长的情况下，我国萤石储采比急剧下降，为使氟化工产业可持续发展，我国政府限制萤石资源的开采，因此我国萤石产量下降，市场价格上涨。我国集成电路、太阳能光伏以及液晶显示行业正在迅速扩张，对电子级

氢氟酸需求持续上升。在上游原材料价格上涨、下游市场需求快速上升的情况下，我国电子级氢氟酸市场景气度上行，行业发展前景广阔。

第三章 市场调研分析

一、电子级氢氟酸行业分析

电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，电子级氟化氢需求不断提高。

电子级氢氟酸是氟精细化学品的一种，主要用于去除氧化物，是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一。从电子级氢氟酸行业的发展历程来看，可以分为三个阶段：起始阶段、规模化发展阶段以及快速发展阶段。

20世纪70年代左右，我国的电子级氢氟酸开始兴起；到2003年，我国的氢氟酸快速发展且电子级氢氟酸行业的下游需求不断扩大，推动电子级氢氟酸行业转向规模化发展阶段；2014年，多氟多投资13500万元，建设年产1万吨电子级氢氟酸项目，打破了中国对高品质电子级氢氟酸依赖进口的局面，同时也刺激了其他氟化工企业进军电子级氢氟酸领域。

就目前来看，我国电子氢氟酸进入成熟阶段，仍需要不断探索，毕竟高品质电子级氢氟酸的制备除需要进行工艺提纯创新外，还需要配套产业的技术创新。

2005年以来，我国氟化氢行业进入产能扩张时代，各地纷纷上马氟化氢项目。氟化氢生产企业（集团）有50多家，万吨级装置有几十套，超过3万吨的有13家，大型生产装置占主导地位，已成为世界第一大氟化氢生产基地。

自2008年开始，我国氟化氢产能利用率大幅下降，2008-2012年平均开工率不到65%，产能明显过剩；2013年、2014年产能利用率更是低于50%；2024年我国环保高压持续，氟化氢产能利用率约为61%。

2016年我国电子级氢氟酸产能达18.5万吨，与2015年比年均增长14.91%；2017年，中国半导体行业快速增长，其对电子级氢氟酸的需求有所增长，这也推动了电子级氢氟酸行业的快速发展。2024年估算电子级氢氟酸产能达到24.0万吨。

目前，电子级氢氟酸主要运用在集成电路、太阳能光伏和液晶显示屏等领域，其中第一大应用市场是集成电路领域，约占电子级氢氟酸总消耗量的47.3%；其次是太阳能光伏领域，占比22.1%；再次是液晶显示器领域，占18.3%。

近年来，随着我国微电子工业的高速发展，中国大陆逐步成为全球较大的液晶显示器（LCD）产业基地，用于集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）和半导体等清洗和蚀刻剂的电子化学品的需求越来越大，国内优势企业的竞争力正在不断增强，长期成长空间巨大。

二、电子级氢氟酸市场分析预测

我国氢氟酸产能“小而散”，高准入门槛及相关政策严控产能产量。氢氟酸是氟化氢（化学式：HF）的水溶液，其与水的恒沸物中含38%（质量分数）HF，为一种弱酸。而无水氢氟酸（AHF）为液态氟化氢，其酸性极强，是氟化工产业链的关键中间产品，为大多数氟化物最普遍和最基本的原料，可用于制备下游氟烷烃、氟化盐、含氟精细化学品、含氟聚合物等。工业中的AHF由浓硫酸与酸级萤石精粉（氟化钙纯度高于97%）反应制得，其具有强腐蚀性、毒性、易对人体及环境造成危害等特点，属于危化品。从行业格局上看，我国氢氟酸上下游主要配套在萤石资源丰富的区域内，以华东为主，产能“小而散”，生产存在污染严重、产能分散且利用率低、行业集中度低等问题。近年来国家各部委和部门出台了一系列条例和准则来规范行业发展，氢氟酸的生产、贮藏、运输等环节均受到国家严格管控与限制，氢氟酸装置开工条件及产能投放等均受到制约。

根据纯度及应用领域的不同，氢氟酸分为工业级氢氟酸和电子级氢氟酸两种。工业级氢氟酸的生产过程中含氟渣料污染、有害于环境，行业准入门槛高且生产要求严格，近年来部分落后的工业级氢氟酸产能陆续淘汰出清；电子级氢氟酸则主要应用于集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片中作为蚀刻剂和清洗剂用，按纯度可划分为5个级别。与传统工业级氢氟酸行业受限情况不同，近年来电子级氢氟酸行业发展受国家政策允许与鼓励，逆势而上、不断加码产能。工业级氢氟酸经精馏、超纯水吸收后纯化，并经亚沸蒸馏、减压蒸馏、0.2μm以下超滤等工序后，可制得高纯且超净的电子级氢氟酸。目前，65%的工业级氢氟酸用于下游氟烷烃、47%的电子级氢氟酸用于集成电路。

国内氟化氢行业发展将更多重心转向高纯度氢氟酸上。全球高纯度氢氟酸的生产技术和供给主要被Stella、大金、森田化学等日企所掌握，由于行业壁垒高，技术工艺难以突破，我国电子级氢氟酸行业起步较晚。近年来，国内氟化氢行业发展也将更多重心转向高纯度氢氟酸上。2015年前我国氢氟酸产能基本保持在220万吨左右，随“供给侧改革”低端产能陆续淘汰出清，2017年我国氢氟酸产能约减少至190万吨。据百川盈孚统计，目前我国氢氟酸产能约239.20万吨；据

化工新材料网统计，2024年国内电子级氢氟酸产能约26万吨，占氢氟酸产能总体量的约10.9%。整体来看，我国氢氟酸整体处于净出口状态，出口量占国内产量的20%~25%左右，而进出口产品仍存在显著的结构化差异：我国进口产品主要为高端半导体级别，出口产品则偏低端。

第四章 投资方案

一、产品规划 （一）产品放方案

项目产品主要从国家及地方产业发展政策、市场需求状况、资源供应情况、企业资金筹措能力、生产工艺技术水平的先进程度、项目经济效益及投资风险性等方面综合考虑确定。该项目主要产品为电子级氢氟酸，具体品种将根据市场需求状况进行必要的调整，各年生产纲领是根据人员及装备生产能力水平，并参考市场需求预测情况确定，同时，把产量和销量视为一致，本报告将按照初步产品方案进行测算，根据确定的产品方案和建设规模及预测的电子级氢氟酸产品价格根据市场情况，确定年产量为xxx，预计年产值14787.00万元。

（二）营销策略

项目承办单位应建立良好的营销队伍，利用多媒体、广告、连锁等模式，不断拓展项目产品良好的营销渠道，提高企业的经济效益。

产品方案一览表

序号 1 2 产品名称 电子级氢氟酸A 电子级氢氟酸B 单位 单位 单位 年产量 xx xx 年产值 6654.15 3696.75 3 4 5 6 电子级氢氟酸C 电子级氢氟酸D 电子级氢氟酸E 电子级氢氟酸F 合计 单位 单位 单位 单位 单位 xx xx xx xx xxx 2218.05 1182.96 739.35 295.74 14787.00 二、建设规模 （一）用地规模

该项目总征地面积34223.77平方米（折合约51.31亩），其中：净用地面积34223.77平方米（红线范围折合约51.31亩）。项目规划总建筑面积38330.62平方米，其中：规划建设主体工程29244.74平方米，计容建筑面积38330.62平方米；预计建筑工程投资3446.64万元。

（二）设备购置

项目计划购置设备共计96台（套），设备购置费4037.31万元。 （三）产能规模

项目计划总投资11427.48万元；预计年实现营业收入14787.00万元。

第五章 项目选址方案

一、项目选址原则

对各种设施用地进行统筹安排，提高土地综合利用效率，同时，采用先进的工艺技术和设备，达到“节约能源、节约土地资源”的目的。

二、项目选址

该项目选址位于xxx经济合作区。

“十二五”时期，面对经济发展新常态，全市上下坚持科学发展，以转型发展、可持续发展为引领，突出改善民生，强化改革创新驱动，推进法治政府建设，确保社会和谐稳定，经济社会总体保持了平稳发展。经济发展步入新常态。当地正朝着一个功能完备、布局合理、产业特色鲜明的工业新城区目标奋进。“十三五”时期，是全面建成小康社会的决胜期，是我市加快新旧动能转换、实现城市转型的攻坚期。一方面，国际金融危机的深层次影响依然存在，国内结构性改革带来的阵痛仍将持续，各种矛盾愈加凸显，各种挑战前所未有。另一方面，世界新一轮科技革命蓬勃兴起，国家全面深化改革持续发力，我市交通区位优势、生态环境优势、政策叠加优势集中显现，广大干部群众

盼发展、谋发展、促发展的热情空前高涨，有利于我们坚定赶超发展的信心和决心，在新起点上创造新的业绩。

三、建设条件分析

企业管理经验丰富。项目承办单位是以相关行业为主营业务的民营企业，拥有一大批高素质的生产技术、科研开发、工程管理和企业管理人才，其项目产品制造技术和销售市场已较为成熟，在生产制造的精细化管理方面、质量控制方面均具有丰富的经验，具有管理优势；在项目产品的生产和工程建设方面积累了丰富的经验，为投资项目的顺利实施提供了管理上的有力保障。

四、用地控制指标

投资项目占地产出收益率完全符合国土资源部发布的《工业项目建设用地控制指标》（国土资发【2008】24号）中规定的行业产品制造行业占地产出收益率≥5000.00万元/公顷的规定；同时，满足项目建设地确定的“占地产出收益率≥6000.00万元/公顷”的具体要求。投资项目绿化覆盖率符合国土资源部发布的《工业项目建设用地控制指标》（国土资发【2008】24号）中规定的产品制造行业绿化覆盖率≤20.00%的规定；同时，满足项目建设地确定的“绿化覆盖率≤20.00%”的具体要求。投资项目土地综合利用率100.00%，完全符合

国土资源部发布的《工业项目建设用地控制指标》（国土资发【2008】24号）中规定的产品制造行业土地综合利用率≥90.00%的规定；同时，满足项目建设地确定的“土地综合利用率≥95.00%”的具体要求。

五、用地总体要求

本期工程项目建设规划建筑系数70.20%，建筑容积率1.12，建设区域绿化覆盖率6.50%，固定资产投资强度189.19万元/亩。

土建工程投资一览表

序号 项目 1 1.1 1.2 1.3 2 2.1 2.2 2.3 3 3.1 4 4.1 5 5.1 主体生产工程 主要生产车间 辅助生产车间 其他生产车间 仓储工程 成品贮存 原料仓储 辅助材料仓库 供配电工程 供配电室 给排水工程 给排水 服务性工程 办公用房 占地面积（㎡） 16985.74 10191.44 5435.44 1358.86 3603.76 900.94 1873.96 828.86 192.20 192.20 221.03 221.03 2282.38 1101.94 基底面积（㎡） 16985.74 10191.44 5435.44 1358.86 3603.76 900.94 1873.96 828.86 192.20 192.20 221.03 221.03 2282.38 1101.94 建筑面积（㎡） 29244.74 17546.84 9358.32 1696.19 5905.82 1476.45 3071.03 1358.34 192.20 192.20 221.03 221.03 2282.38 1101.94 计容面积（㎡） 29244.74 17546.84 9358.32 1696.19 5905.82 1476.45 3071.03 1358.34 192.20 192.20 221.03 221.03 2282.38 1101.94 投资（万元） 2892.61 1793.42 925.64 173.56 424.83 106.21 220.91 97.71 15.55 15.55 13.91 13.91 164.18 92.62