设备配置及技术规格表 序号 设备名称 技术参数 功能要求 合金材料制备系统 、电源极限电流 *、真空度× *、冷却速率可达到 、熔炼样品重量×(～) 、具有熔炼与吸铸功能，吸铸模具与水冷模具套滑配，保证冷却效果 、电极杆和机械手均采用球密封机构 、冷却方式:水冷,含自动报警 、具有自动引弧,弧光保护,水压保护及机械手翻转系统 设备配套： 、Φ×（）卧式真空熔炼室 *、电源直流焊机 、真空设备分子泵一台和机械泵 *、主抽超高真空插板阀 、控制柜 、电磁搅拌系统 、吸铸与熔炼用坩锅 、吸铸模具 、电极杆和机械手 、备用密封圈及工具 、配套循环冷水机 、曝光面积：英寸 、曝光波长： *、分辨力：μ（胶厚μ的正胶） 、对准精度：±μ 、掩模样片整体运动范围：： ： 、掩模尺寸：英寸、英寸、英寸、英寸 *、样片尺寸：直径φ～φ 厚度：～(可扩展为) 、曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量 *、照明不均匀性：（φ范围） *、双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过显示器对准，光学合像，光学最大倍数倍，光学电子放大倍 物镜三对：倍、倍、倍 目镜三对：倍、倍、倍 、掩模相对于样片运动行程：：± ：± θ：±度 1 / 8
光刻系统 、汞灯功率：（直流） 、曝光能量密度： 、外形尺寸：（长）×（宽）×（高) 该部分能与荧光光谱系统可配套使用。 *、需要大尺寸积分球一个，英寸，保证测量的高准确性和高精度 、底部抽屉式设计，避免腔体污染 、积分球腔体可放置标准比色皿，带防挥发比色皿塞，无需额外配置样品杯 、固液分离式测量，满足固体、液体测量需求 *、配置色度分析 、预留电线接口，可测试小型发光电器 件 、测试时球体处于密封状态，无开放式光窗口 、配置非开放式专用通气孔，提供气氛保护 *、提供个固体样品杯，直径,深度 *、提供个石英盖玻片，覆盖固体样品表面 、提供个样品塞，用于密封底部样品装样口 该部分能与荧光光谱系统可配套使用。 * 、样品变温范围要求从 * 、整个变温范围内的控温稳定性要求优于 . 样品更换时间要求小于分钟 * 、恒温器要求内置液氮储槽，要配有低温吸附器，保证真空度，真空罩要求配有抽真空阀、安全阀、针或大于针的电学接头 * 、样品管直径要求大于，需配有四路 石英窗口，可透光直径要求大于 * 、进入样品管的液氮要求可调节流量，配有流量控制阀，热交换器上要求配有欧姆的控温加热器和硅二极管温度计 * 、恒温器尾部窗框尺寸要求小于，需要配有四路石英窗口，可透光直径大于 样品杆上方要求配有两个针（或大于针的）电学接头，一个用于控温，一个用于电学测试，两个备用端口和安全阀 2 / 8
积分球附件 低温变温台 、样品座上要求配有欧姆控温加热器和硅二极管温度计 * 、需要提供镀金无氧铜光学型样品托、按要求定制的液体样品托、粉末样品托 * 、需要能够匹配现有 荧光光谱仪，并提供耦合装置 * 、要配有双通道的高精度低温控温仪，双加热器输出（和），自动控温，含、、接口 、配有真空泵（国内采购），抽速大于 ，含金属波纹管、卡箍等连接恒温器真空腔所需的真空配件 专家论证：
3 / 8
设备配置及技术规格表
