合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识
1、几个基本问题
1.4 真空条件下气体的流动特点
(分子间易发生碰撞)黏滞流
(分子运动相对独立)
分子流
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2、真空泵的类型（按真空获得的方法）真空获得的方法气体输送变容真空泵往复式隔膜式活塞式旋片泵定片泵旋转式液环泵螺杆泵涡轮泵油封泵滑阀泵罗茨泵蜗旋泵复合泵气体喷射泵分子筛吸附泵蒸汽喷射泵溅射离子泵动量传输真空泵分子真空泵喷射真空泵扩散泵气体捕集吸附泵冷阱低温泵升华泵牵引泵水喷射泵参见国标：GB 913-66《泵分类及技术条件》合肥工业大学真空与过程装备教研室一、机械真空泵基础知识
2、真空泵的类型（按真空泵用途）
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主泵(Main pump):在真空系统中，用来获得所要求真空度的真空泵；粗抽泵(Roughing vacuum pump):从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵；
前级泵(Backing vacuum pump):用来维持另外一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵；
维持泵(Holding vacuum pump):在真空系统中，当气体量很小，不能有效的利用主前级泵。此时，可以利用容量较小的辅助前级泵来维持主泵工作或维持容器所需真空度；粗/低真空泵(Rough/Low vacuum pump):从大气压力开始并用来获得低真空度的真空泵；
高真空泵(High vacuum pump):在高真空范围工作的真空泵；
超高真空泵(Ultrahigh vacuum pump):在超高真空范围工作的真空泵；增压真空泵(Booster vacuum pump):安装在低真空和高真空泵之间，用来提高系统工作效率或降低前级泵容量要求的真空泵。
参见国标：GB/T 3163-97《真空技术名词术语》
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3、机械真空泵
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泵。
变容真空泵（Positive displacement pump）：泵腔容积的周期性变化来完成抽气。
动量传输泵（Kinetic vacuum pump）：依靠高速叶片、射流，将动量传递给气体，完成抽气。
凡是利用机械运动（转动或滑动）来获得真空的泵，称为机械真空
常见机械真空泵图形符号
参见国标：GB/T 3164-93
《真空技术系统图用图形符号》
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4、机械真空泵性能参量
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抽气速率（Flow rate）：在相关标准测试条件下，从测试罩流过的气体流量和在测试罩指定位置测得的平衡压力之比。
极限压力（Ultimate pressure）：在标准测试条件下，不引入气体正常工作条件下，趋向稳定的最低压力。
启动压力（Stating pressure）:泵无损坏启动并且有抽气作用的压力。前级压力（Backing pressure）:排气压力低于一个大气压，真空泵的出口压力。最大前级压力（Maximum backing pressure）:能使泵损坏的前级压力。最大工作压力（Maximum working pressure）:对应最大抽气量的入口压力。
抽气量（Throughout of vacuum pump）:流经泵入口的气体流量。
压缩比（Compression ratio）:泵对给定气体的出口压力和入口压力之比。
参见国标：GB/T 3163-97《真空技术名词术语》
真空泵培训材料（一） - 图文
