平面型GaN p-n结探测器的制备与性能
包西昌;张文静;刘诗嘉;李超;李向阳
【期刊名称】《红外与毫米波学报》 【年(卷),期】2011(030)003
【摘要】The annealing temperature dependence of FWHM of X-ray rocking curves of p-GaN layers grown on sapphire substrate by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) were studied. The results show that the quality of p-GaN became worse at annealing temperature higher than 1150℃. The implantation conditions were simulated by TRIM. The planar GaN p-n detectors were fabricated by Si implantation into p-GaN. The current-voltage (Ⅰ-Ⅴ) curve at room temperature shows that the dark current density is 4.7nA/cm2 at zero voltage bias. The peak responsivity is 0.065 A/W and 0.039A/W at 368 nm at room temperature and 80 K, respectively. It decreases obviously with the decrease of temperature as a result of the changes in bandgap, series resistance, and build-in potential with temperature.%采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上制备了p-GaN单晶薄膜.高温(＞1100℃)处理及未处理样品的双晶摇摆曲线测试表明高于1150℃会使材料的晶体质量明显变差,这为平面型紫外探测器制备中的部分注入激活条件提供了选择依据.通过TRIM软件优化了注入条件,在选择性注入改型材料上成功制备了平面GaN p-n结型光电探测器.测试结果表明:室温下的零偏压暗电流密度为4.7 nA/cm2,而-5 V偏压下的暗电流密度则达到了67 μA/cm2.室温下的峰值响应
率0.065A/W出现在368 nm处.在低温下器件的峰值响应明显降低,80 K时,360nm处的峰值响应率仅为0.039A/W.禁带宽度、串联电阻、内建电场等是引起探测器响应率随温度降低的原因. 【总页数】4页(246-249)
【关键词】平面型探测器;GaN;离子注入;电流特性;响应率 【作者】包西昌;张文静;刘诗嘉;李超;李向阳
【作者单位】中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海200083;中国科学院研究生院,北京100039;中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海200083;中国科学院研究生院,北京100039;中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海200083;中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083;中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海200083;中国科学院研究生院,北京100039;中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室,上海200083;中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海200083 【正文语种】中文 【中图分类】TN364+.2 【文献来源】
https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-journal-cn_journal-infrared-millimeter-waves_thesis/0201236110550.html 【相关文献】
1.p-GaN层厚度对GaN基p-i-n结构紫外探测器性能的影响 [J], 周梅; 赵德刚
2.平面型铟镓砷红外探测器八元线列的制备与性能分析 [J], 吴小利; 张可锋; 唐恒敬; 李雪; 龚海梅
3.AlGaN/GaN异质结紫外探测器 [J], 陈俊; 许金通; 李雪; 陈亮; 赵德刚; 李向阳
4.平面PN结InSb红外焦平面探测器的研究 [J], 李忠贺; 李海燕; 杜红燕; 亢喆; 邱国臣
5.GaN基紫外探测器的研究与制备 [J], 杨辉; 赵德刚; 张书明; 朱建军; 冯志宏; 段俐宏; 刘素英
以上内容为文献基本信息，获取文献全文请下载
平面型GaN p-n结探测器的制备与性能
