扫描电子显微镜操作规程.docx

精品文档

JSM-6610LV型扫描电子显微镜操作规程

1 样品镀膜

1.1 关闭充气阀门 ,打开镀膜机开关。

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1.2 当真空度达到2×10mbar时 ,调节等离子电流至10mA（最大不超过20mA） ,根据样品情况 ,设置镀膜时间 ,镀膜时间一般不超过120m。

1.3 镀膜完成后 ,关闭镀膜机开关 ,打开充气阀门 ,取出样品 ,盖好上盖。 2 上机

2.1 打开稳压电源。

2.2 开启扫描电镜总电源 ,待泵运行稳定后 ,依次打开扫描电镜、能谱仪的主控计算机。 2.3 打开分析软件操作界面 ,点击“VENT”对样品室进行释压 ,同时检查“STAGE”状态 ,设定Z值为30mm。待完全释压后 ,轻轻打开样品室门取出样品座 ,将样品固定在样品座上 ,然后将样品座放回样品室 ,关闭样品室门 ,点击“EVAC”开始对样品室抽真空。 2.4 当样品室真空度达到要求后 ,即可打开灯丝开始样品分析。 2.5 找到被测样品 ,调整好工作距离 ,设置合适的物镜光阑尺寸、束斑尺寸及加速电压。分析样品前 ,检查灯丝相状态 ,如果灯丝相不饱和 ,要进行电子枪对中（电镜合轴）、聚焦、消像散等步骤 ,将电镜调至最佳观察状态。

2.6在“SCAN1”模式下进行对中、聚焦、消像散 ,在“SCAN2”模式下进行样品观察 ,选择具有代表性的视域 ,调整亮度、明暗度等至图像最清晰为止 ,在“SCAN4”模式下扫描拍照 ,并将所拍照保存至指定文件夹中。摄取的照片用一次性光盘刻录拷贝 ,主控计算机严禁插入其他移动存储设备。 3 关机

关闭灯丝 ,退出分析软件操作界面 ,然后依次关闭主控计算机、扫描电镜总电源、稳压电源。

4 及时填写仪器运行记录。