TiO2薄膜的制备方法研究

TiO2薄膜的制备方法研究＊1

李石周， 廖华， 王建秋， 谢明达， 李泽东， 刘涛

【摘 要】 通过对各种TiO2薄膜制备方法的对比，得到：磁控溅射法是目前制备TiO2薄膜的最佳方法；离子束溅射法和热解法尽管相关研究较少，但是值得进一步研究.

【期刊名称】云南师范大学学报（自然科学版） 【年(卷),期】2014(034)002 【总页数】4

【关键词】 二氧化钛；薄膜；制备 【文献来源】

https://www.zhangqiaokeyan.com/academic-journal-cn_journal-yunnan-normal-

university-natural-sciences-edition_thesis/0201248113233.html

二氧化钛（TiO2）薄膜是一种折射率较高、对可见光和近红外光高透（透明波段为0.36～9 μm）、对紫外光强烈吸收的光学薄膜，具有良好的耐空间辐照特性，在传统分层介质减反射膜系和新型折射率渐变薄膜结构中具有不可替代的优势.TiO2还是一种价格低廉、性能稳定、无害无污染的半导体材料［1］，具有很好的光催化降解特性与光致亲水性［2］，即具有自清洁与杀菌功能，因而也是极具应用前景的功能性环保薄膜材料.TiO2薄膜被广泛应用于油漆、涂料、化纤、塑料、化妆品、陶瓷等领域.将TiO2薄膜与其他光学薄膜材料匹配构成的减反膜射膜系，不仅具有较好的光学性能，还能改善薄膜的自清洁功能，从而提高光学器件的光效利用率和服役寿命［3］.

本文对比多种TiO2薄膜的制备方法及其所制薄膜的优缺点，为TiO2薄膜在太阳能电池中的合成提供借鉴.