半导体设备化学机械抛光机CMP产业链研究报告
珞珈投资发展（深圳）有限公司
一、节点简介
化学机械抛光机（CMP）通过机械研磨和化学液体溶解“腐蚀”的综合作用，对被研磨体（半导体）进行研磨抛光。国际主要的抛光机制造商包括美国的应用材料、诺发系统和Rtec公司。国内以兰州兰新和爱立特微电子公司为代表的抛光机、研磨机、倒角机、切割机等设备生产制造商，已形成与国外同类设备抗衡的能力，在国内外都处于领先地位。兰州兰新公司在双面四动精细研磨设备上已形成了“S”和“B”系列为主体的14个机型的生产配套能力，开发了一系列单面抛光及减薄设备、双面抛光设备、四动双面抛光设备等。 CMP需要使用CMP机台和耗材，耗材以抛光液和抛光垫为主，全球市场被日本和美国的几家材料公司垄断。CMP机台市场被应用材料和日本的Ebara高度垄断，两者市占率接近90%。国内市场上，华海清科和电科装备45所是主要的研发力量，2015年11月，两家公司联合参与的02专项“28-14nm抛光设备及工艺、配套材料产业化”正式获批。华海清科12英寸CMP设备于2016年3月获得客户验收采购，国产首台8英寸CMP设备于2017年8月实现出厂销售；电科装备45所自主研发的8英寸CMP商用机完成了内部测试，于2017年11月发往中芯国际天津公司进行上线验证。 二、产业链图谱
三、智能行业透视 （1）行业细分 行业细分 数据来源：太平洋
标题：化工行业周报：景气周期下行或不明背景下?持续推荐农化及成长板块 发布时间：2019-01-13
摘要：细分领域如，福建晋华被镁光制裁，进一步凸显了半导体国产化的重要性，国家发布一系列政策支持半导体行业的发展，看好电子特气、湿化学品、CMP 材料、大硅片等领域陆续放量。 数据来源：宇晶机器
标题：[临时报告]宇晶机器:公开转让说明书 发布时间：2015-11-03
摘要：集成电路产业发展若干政策》、《装备制造业调整和振兴规划》、《外商投资产业指导目录》、《促进中部地区崛起计划》、《新材料行业“十二五”发展规划》、《机床工具行业“十二五”发展规划》《国务院关于加快振兴装备制造业若干意见》和《电子专用设备仪器“十二五”规划》等政策文件以促进研磨抛光机、多线切割机等细分行业的的技术发展和产业振兴,这些产业政策对于提升国内相关企业的竞争力、替代进口、扩大市场规模,推动产品优化升级起到了重大的推动作用。但是未来三到五年内,如果国家对行业的发展方向进行整体调整改革,将会对行业的发展产生一些不利的影响。 （2）行业规模 行业规模
数据来源：东吴证券
标题：天通股份:材料和装备比肩齐飞,多项业务卡位行业风口 发布时间：2018-05-21
摘要：2016年全球CMP设备市场规模14.4亿美元，300mm（1222/32寸）应用占9.2亿美元，2021年将达到20亿美元，复合增速为6.7%。2017年11月电科装备45所自主研发的200mm（8寸）CMP商用机完成所内测试，发往中芯国际天津公司进行上线验证，实现了国产CMP设备首次进入集成电路大生产线
数据来源：国海证券
标题：化工海外行业专题研究系列一：美国篇-半导体功能材料和陶瓷结构材料行业龙头优势尽显 发布时间：2018-03-22
摘要：CMP技术是唯一可以提供全局平坦化的技术，主要应用在半导体生产过程中的多个环节。根据SEMI统计数据，CMP材料在半导体材料成本中的占比高达7%。近年，随着全球和国内半导体行业的迅速发展，国内外CMP研磨材料市场也不断扩大。同时，目前半导体芯片的技术节点也逐渐转向32nm、22nm、14nm，甚至7nm，芯片集成度的提高会明显增加CMP研磨工序量，从而进一步带动CMP研磨材料的市场需求。根据卡博特微电子统计的数据显示，2016年全球CMP研磨材料市场规模达17.5亿美元，其中CMP研磨液市场规模11亿美元，CMP研磨垫市场规模达6.5亿美元。预计2020年，全球CMP材料市场规模有望达20亿美元。 数据来源：天风证券
标题：机械设备行业研究周报：工程机械的龙头集中度提高与液压件量价齐升?重视油服行业回暖 发布时间：2018-01-15
摘要：CMP抛光机需求量大，目前AMAT 和EBARA 两家公司合计市占率超80%，晶盛目前计划与美国Revasum 公司合作生产CMP抛光机，2018年有望投产。
数据来源：天风证券
标题：机械设备行业研究周报：工程机械的龙头集中度提高与液压件量价齐升?重视油服行业回暖 发布时间：2018-01-15
摘要：我们根据目前公布的国内大硅片投资，我们预测未来四年设备投资总额大概为498.1亿元，设备投资占总投资的85%左右。分年度投资来说，2017年
-2020年每年设备投资额大概为60、106、170、250亿元。其中，拉晶炉、抛光机、测试设备、切割机、研磨机、清洗机和耗材分别占比为25%、25%、20%、10%、5%、10%、5%，四年合计投资额大概为124.5、124.5、99.6、49.8、24.9、49.8、24.9亿元。 数据来源：太平洋证券
标题：太平洋证券电子化学品深度报告：产能转移叠加政策推动，行业迎来黄金发展期
发布时间：2017-12-13
摘要：68：国内CMP材料市场规模及增速资料来源：SEMI，太平洋研究院整理资料来源：拓璞产业研究院，太平洋研究院整理随着半导体产业市场规模的增长，全球半导体用CMP材料市场也随之增长，CMP材料在半导体材料中占比7%左右。2016年半导体用CMP材料市场规模达到16.7亿美元，近几年发展较为稳定。受益于国内半导体行业的大发展，国内半导体用CMP材料市场增速较快，2016年国内的市场规模17.2亿元，未来有望持续高增长。 数据来源：国海证券
标题：国海证券化工行业2018年投资策略：关注原油价格上行及新材料领域发展方向
发布时间：2017-12-11
摘要：根据Techcet统计数据显示，2016年全球CMP研磨材料市场达到20亿美元以上，国内CMP研磨材料市场达到30亿元以上。CMP研磨液和研磨垫技术壁垒深，国内90%以上依赖进口。根据智妍咨询统计，2015年全球生产研磨垫的企业主要是美国陶氏化学，其垄断集成电路和蓝宝石领域所需研磨垫
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