线切NTC442工艺文件 编号：050-GY-JP-0005
1 目的和范围
本文件的目的是规范统一员工利用多线切片机加工硅晶棒时涉及的相关工艺参数。 本文件适用于NTC MWM442DM线切割机作业加工。
2 设备、工装、夹具 设备 NTC442线切割机 上下料车 换槽轮专用车 线筒更换车 3mm、4mm、5mm、6mm内六角扳手 8mm、10mm普通扳手 换槽轮专用力矩扳手 密度计（1.6～1.7g/cm3） 粘度计 刀片，竹签 剪刀 胶带 槽轮布 橡胶手套 一次性雨衣 气动隔膜泵 称重液压车 普通液压车 砂浆搅拌桶 砂浆周转车 塞尺 用途 切片 上下料 换槽轮 换线筒 紧固螺丝 紧固螺丝 更换槽轮 测砂浆密度 测砂浆粘度 去胶 剪断钢线 排跳线，布线网 清理槽轮杂质，去除线网胶面 保护手部 保持工衣整洁 打入和抽出砂浆 称量砂浆重量 运送线轴 搅拌砂浆 运输砂浆 判定滑轮的可用性 3
原材料和化学品
第1 页共6页
项目 硅棒类型 单晶硅棒 Φ150mm 钢线 槽轮 滑轮 SiC 新砂 回收砂 切削液 新液 回收液 规格 P型 Φ165mm Φ0.11mm P=0.330mm 西安 1500# 1500# DK-06-1 DK-06-1 禹顺 1200# 1200# DK-06-1 DK-06-1 Φ200mm Φ0.12mm P=0.345mm 备注：以上滑轮和砂液的厂家随生产情况可以有所变动。但型号不改变。 4
工艺流程
开机准备 领 料 去 胶 上 料 参数设定 送脱胶 下 料 过程点检 开机切割 预热、点检
5 6
过程特征和产品特征
硅片厚度：200±20um；
工艺参数和规范
6.1 去胶规范：
6.1.1 晶棒两侧端面的胶用刀片去除。
6.1.2 圆弧面用竹签去胶，当圆弧面胶块过大，用竹签无法去除，需粘棒工序班长确认、
签字，方可用刀片去胶。
6.1.3 去胶时间以《太阳能单晶粘棒工艺文件》固化时间为标准，严禁提前去胶。
6.2 P型单晶Φ150、Φ165工艺参数：
表一 6.5/6寸标准棒长工艺
挠曲复原时间 2.0min 进刀位置 mm -1.0 13.0 124.0 128.0 135.0
张力 左 19N 右 18N 主轴 加速时间 3s 减速时间 3s 同步进刀模式 无效 分割数 20 20 10 20 20 进刀速度 钢丝速度 进给距离 返回距离 砂浆温度 砂浆流量 mm/min 0.350 0.300 0.300 0.240 0.180 m/min 662 662 662 662 625 m 239.9 239.9 239.9 239.9 193.8 m 81.0 81.0 81.0 81.0 54.0 ℃ 24 24 24 24 24 L/min 80 80 80 75 65 第2 页共6页
该工艺适用于切割晶棒长度为300±20mm,同时可适用于250-280mm长的单晶。
表二 6.5/6寸标准棒长420钢线工艺
挠曲复原时间 2.0min 进刀位置 mm -1.0 13.0 120.0 125.0 135.0 张力 左 19N 右 18N 主轴 加速时间 3s 减速时间 3s 同步进刀模式 无效 分割数 20 20 10 20 20 进刀速度 钢丝速度 进给距离 返回距离 砂浆温度 砂浆流量 mm/min 0.350 0.300 0.300 0.18 0.15 m/min 662 662 662 662 625 m 242.8 242.8 242.8 242.8 198.0 m 78.1 78.1 78.1 78.1 50.0 ℃ 25 25 25 25 25 L/min 80 80 80 75 65 该工艺适用于切割晶棒长度为300±20mm,同时可适用于250-280mm长的单晶。
表三 6.5/6寸短棒工艺一
挠曲复原时间 2.0min 进刀位置 mm -1.0 13.0 124.0 130.0 135.0 张力 左 19N 右 18N 主轴 加速时间 3s 减速时间 3s 同步进刀模式 无效 分割数 20 20 10 20 20 进刀速度 钢丝速度 进给距离 返回距离 砂浆温度 砂浆流量 mm/min 0.380 0.300 0.300 0.300 0.220 m/min 662 662 662 662 625 m 222.2 222.2 222.2 222.2 173.9 m 98.7 98.7 98.7 98.7 73.9 ℃ 25 25 25 25 25 L/min 80 80 80 80 65 全砂第一刀加新砂浆280kg，全砂第二刀不加入砂浆，全砂三刀抽出70kg打入70kg。 该工艺适用于切割晶棒长度为200±30mm长的单晶
第3 页共6页
切割工艺文件
