精品资料 dummy n. 哑巴, 傀儡, 假人, 假货 adj. 虚拟的, 假的, 虚构的 n. [计] 哑元 dynamic adj. 动力的, 动力学的, 动态的 E economies of scale 规模经济 edge bead removal 边缘去胶 edge die 边缘芯片 edge exclusion 无效边缘区域 electrically erasable PROM电可擦除EPROM electrode 电极 electromigration 电迁徙 electron beam lithography 电子束光刻 electron cyclotron resonance 电子共振回旋加速器 electron shower 电子簇射，电子喷淋 electron stopping 电子阻止 electronic wafer map 硅片上电性能分布图 electroplating 电镀 electropolishing 电解抛光 electrostatic chuck 静电吸盘 electrostatic discharge(ESD) 静电放电 ellipsometry 椭圆偏振仪，椭偏仪 仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除 谢谢16
精品资料 emitter 发射极 endpoint detection 终点检测 engineering n. 工程(学) electrostatic discharge(EDX) 能量弥散谱仪 enhancement mode 增强型 epi 外延 epitaxial layer 外延层 epoxy underfill 环氧树脂填充不足 erasable PROM 可擦除可编程只读存储器 erosion 腐蚀，浸蚀 establish vt. 建立, 设立, 安置, 使定居, 使人民接受, 确定 v. 建立 etch 刻蚀 etch bias 刻蚀涨缩量 etch profile 刻蚀刨面 etch rate 刻蚀速率 etch residue 刻蚀残渣 etch uniformity 刻蚀均匀性 etchant 刻蚀剂 etchback planarization 返刻平坦化 仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除 谢谢17
精品资料 eutectic attach 共晶焊接 eutectic temperature 共晶温度 evaporation 蒸发 even adj. 平的, 平滑的, 偶数的, 一致的, 平静的, 恰好的, 平均的, 连贯的 adv. [加强语气]甚至(...也), 连...都, 即使, 恰好, 正当 vt. 使平坦, 使相等 vi. 变平, 相等 n. 偶数, 偶校验 exceed vt. 超越, 胜过 vi. 超过其他 excimer laser 准分之激光 exposal n. 曝光, 显露 exposure 曝光 exposure dose 曝光量 extraction electrode 吸极 extreme UV 极紫外线 extrinsic silicon 掺杂硅 F Fables 无制造厂公司 fabrication 制造 facilities 设施 factor n. 因素, 要素, 因数, 代理人 fast ramp furnaces 快速升降温炉 仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除 谢谢18
精品资料 fault model 失效模式 FCC diamond 面心立方金刚石 feature size 特征尺寸 FEOL 前工序 Fick’s laws FICK定律 field-effect transistor 场效应晶体管 field oxide 场氧化 field-by-field alignment 逐场对准 field-programmable PROM 现场可编程只读存储器 film 膜 film stress 膜应力 final assembly and packaging 最终装配和封装 final test 终测 first interlayer dielectric(ILD-1)第一层层间介质 fixed oxide charge 固定氧化物电荷 flats 定位边 flip chip 倒装芯片 float zone 区熔法 fluorosilicate glass(FSG) 氟化玻璃 focal length 焦距 仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除 谢谢19
精品资料 focal plane 焦平面 focal point 焦点 focus 聚焦 focus ion beam(FIB) 聚焦离子束 footprint 占地面积 formula n. 公式, 规则, 客套语 forward bias 正偏压 four-point probe 四探针 frenkel defect Frenkel缺陷 front-opening unified pod(FOUP) 前开口盒 functional test 功能测试 furnace flat zone 恒温区 G g-line G线 gallium(Ga) 镓 gallium arsenide(GaAs) 砷化镓 gap fill 间隙填充 gas 气体 gas cabinet 气柜 gas manifold 气瓶集装 gas phase nucleation 气相成核 仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除 谢谢20
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