液态金属离子源及其控制方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200480027321.5 （22）申请日 2004.09.17 （71）申请人 应用材料以色列公司

地址 以色列雷霍沃特

（10）申请公布号 CN1856858A （43）申请公布日 2006.11.01

（72）发明人 亚设·珀尔

（74）专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人 徐金国

（51）Int.CI

H01J37/08; H01J27/22;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

液态金属离子源及其控制方法

（57）摘要

本发明提供一种用来控制液态金属离子源

的方法，该液态金属离子源包含一尖端，一第一电极及一第二电极，该方法包括的步骤为：(i)将第一电极保持在第一电压等级范围及将第二电极保持在第二电压等级范围，用以在源的操作中主动模式期间撷取形成在尖端上的金属离子；(ii)将第一电极保持在第三电压等级范围及将第二电

极保持在第四电压等级范围，用以在源的操作中闲置模式期间实质上减少从尖端撷取金属离子。第三电压等级和第四电压等级中至少其一并不包括零电压等级。第一电压等级不同于第三电压等级。

法律状态

法律状态公告日

2006-11-01 2006-12-27 2009-09-02 2015-11-04

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

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公开

实质审查的生效 授权 专利权的终止

权利要求说明书

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