TFT的制备方法、TFT、OLED背板和显示装置

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201811330692.0 （22）申请日 2018.11.09

（71）申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

地址 518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

（10）申请公布号 CN109638078A

（43）申请公布日 2019.04.16

（72）发明人 周星宇

（74）专利代理机构 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)

代理人 黄威

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

TFT的制备方法、TFT、OLED背板和显示装置

（57）摘要

本发明实施例公开了一种TFT的制备方

法、TFT、OLED背板和显示装置，本发明实施例中方法包括：利用黑色光阻材料在玻璃基板上形成遮光层；在遮光层之上依次沉积缓冲层、第一半导体层、第一栅极绝缘层和栅极金属层；将栅极金属层下方之外的第一栅极绝缘层蚀刻掉，得到第二栅极绝缘层；对第一半导体层进行等离子处理处理，使得第二栅极绝缘层未遮挡的第一半导体层形成导体层，剩余的形成第二半导体层；

依次沉积层间绝缘层、源漏极金属层、钝化层、平坦化层、像素电极层以及像素定义层。本发明实施例中可以降低平坦化层的厚度，提升了曝光工艺的准确度，增加TFT对应的OLED发光区的平坦度。

法律状态

法律状态公告日

2019-04-16 2019-04-16 2019-05-10

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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权利要求说明书

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