TFT-LCD阵列基板及其制造方法

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201310098588.4 （22）申请日 2013.03.25

（71）申请人 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 限公司

（72）发明人 洪孟逸 （74）专利代理机构

代理人

地址 210033 江苏省南京市仙林大道科技南路南京液晶谷南京中电熊猫液晶显示科技有

（10）申请公布号 CN103199094A

（43）申请公布日 2013.07.10

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

TFT-LCD阵列基板及其制造方法

（57）摘要

本发明公开一种TFT-LCD阵列基板，包括

形成在基板上的扫描线和数据线，所述扫描线和数据线限定的像素区域内形成像素电极和薄膜晶体管，所述的薄膜晶体管包括与扫描线相连接的栅极、与数据线相连接的源极、与像素电极相连接的漏极以及源电极和漏电极之间形成的薄膜晶体管的半导体层；所述像素区域内还形成有与所述像素电极一起构成存储电容的存储电极，所述

的存储电极和所述的薄膜晶体管的半导体层为透明材质的IGZO。其中，对所述的存储电极和所述的薄膜晶体管的半导体层进行离子注入处理，并在同一制程中完成。通过本发明方案，在不增加光罩制程以及材料的情况下，达成利用IGZO作为透明存储电极的目标，大幅提升像素的开口率，符合产业针对画质的需求。

法律状态

法律状态公告日

2013-07-10 2013-08-07 2016-01-20

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

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公开

实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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