（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201110402038.8 （22）申请日 2011.12.07 （71）申请人 浙江大学
地址 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
（10）申请公布号 CN102435774A
（43）申请公布日 2012.05.02
（72）发明人 朱辉杰;金仲和;胡世昌;刘义东 （74）专利代理机构 杭州求是专利事务所有限公司
代理人 张法高
（51）Int.CI
G01P15/125;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种电容式微机械加速度计温度补偿系统及其方法
（57）摘要
本发明公开了一种电容式微机械加速度计
温度补偿系统及其方法，电容式微机械加速度计温度补偿系统包括电容式微机械加速度传感器、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、模拟带通滤波器、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器、第三数/模转换器和现场可编程门阵列芯片，电容式微机械加速度计温度补偿方法包括载波产生/同步解调、谐振频率锁定和零偏
温度补偿三个步骤。本发明利用电容式微机械加速度传感器的谐振频率随温度的变化来检测电容式微机械加速度传感器温度的变化，并作为电容式微机械加速度计系统输出信号的补偿参考信号进行温度补偿。本发明降低温度补偿成本，排除温度测量误差对补偿精度的影响，提高温度补偿精度。
法律状态
法律状态公告日2012-05-02 2012-06-27 2013-01-09 2013-03-27
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权 著录事项变更
法律状态
公开
实质审查的生效 授权 著录事项变更
权利要求说明书
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一种电容式微机械加速度计温度补偿系统及其方法
