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标准作业指导 大气污染防治控制程序 版本：V001 页数：3 修订一览表 版次 V001 变更依据 新建 修订内容 生效日期 作者
大气污染防治控制程序
1.
目的
有效控制废气、粉尘的排放，减少对环境和员工身体健康的影响。 2. 3. 4. 5.
范围
适用于公司范围内所有废气排放管理。 参考 定义 职责
5.1 安全主管部门负责废气控制的监督管理和委托检测工作。
5.2 生产部门、食堂等负责对区域内的废气实施有效的控制和管理，并采取必要的措施。 5.3 厂务部、使用单位负责对产生废气的设备及其废气处理设施进行维护和保养。 6.
控制要求 6.1 废气的来源
6.1.1 公司生产过程排放的废气主要为：硅片清洗、刻蚀、去胶、CVD等工序产生的
酸性废气；
6.1.2 硅片清洗、显影、刻蚀及CVD等工序产生的碱性废气； 6.1.3 硅片清洗、涂胶、去胶等工序产生的有机废气；
6.1.4 来源于硅片刻蚀、离子注入、扩散、CVD等工艺中未消耗完的有毒有害、易燃
的原料气体的工艺尾气；
6.1.5 来源于厂区内的热水锅炉的锅炉烟气等； 6.1.6 食堂产生的油烟废气；
6.1.7 其它废气：如机动车辆排放的尾气等。 6.2 废气排放的控制
6.2.1 公司生产过程排放的酸性废气、碱性废气，通过废气排气管道，经废气洗涤塔
中和处理，达到国家规定排放标准后排放。
6.2.2 公司生产过程排放的有机废气，通过活性炭吸附装置吸附处理。
6.2.3 公司生产过程排放的工艺尾气，采取两级处理措施，第一级为在机台尾部采用
机台工艺尾气处理塔（local scrubber）对工艺尾气进行处理；第二级为经机台工艺尾气处理塔（local scrubber）处理后的尾气纳入酸性废气处理系统（用碱液喷淋）处理，经排气筒排放。
6.2.4 食堂产生的废气应安装油烟净化装置，排放的油烟废气经油烟净化装置处理后
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达标排放。
6.2.5 行政后勤部门应指定专门的人员或与维保单位签定协议落实定期清理油烟净化
装置，清除油污，防止影响除油效率。
6.2.6 机动车辆的尾气排放管理按机动车安全操作规程执行。 6.3 管理要求
6.3.1 采用主动排风，保证车间工作场所的通风，减少有害气体对员工的影响。 6.3.2 工厂、食堂应分别定期对高温焚化炉、油烟净化装置等废气处理设施的运行情
况进行检查。
6.3.3 厂务部在制订设备维修和保养计划的时候，应将高温焚化炉等废气处理设施列
入维护和保养计划。
6.4 安全主管部门每年一次联系当地环保监测机构对公司所排放的废气进行监测，每年一次
联系职防所对尘毒作业点进行测试。
6.5 公司每年安排体检，对于有职业禁忌倾向的员工应考虑调换岗位。
6.6 发生废气排放出现异常或高温焚化炉等废气处理设施停运等情况，安全主管部门应立即
组织工厂、厂务部等相关部门进行调查、处理，发生严重情况时应立即通知公司领导或当地相关部门紧急处理。具体按《紧急应变控制程序》规定执行。
7.
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