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江苏金属靶材新建项目策划方案

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定律”向前发展。在晶圆制造方面,芯片尺寸不断减小(目前主流28纳米以下),同时晶圆尺寸不断增大以进一步降低成本(目前12英寸是主流)。在集成电路领域主要应用在晶圆制造和先进封装过程中。为了满足半导体芯片高精度、小尺寸的需求,芯片制造对溅射靶材纯度要求很高,通常需达99.9995%(5N5)甚至99.9999%(6N)以上,这在各下游应用中要求是最高的,价格也最为昂贵。

平板显示镀膜用溅射靶材主要品种有:铝、铝合金、钼、铬、铜、铜合金、硅、钛、铌和氧化铟锡(ITO)等。平面显示面板的生产工艺中,屏显玻璃基板要经多次溅射镀膜形成ITO玻璃,然后再经过镀膜、加工组装用于生产LCD面板、PDP面板及OLED面板等。对于触控屏,则还需将ITO玻璃进行加工处理、经过镀膜形成电极,再与防护屏等部件组装加工而成。此外,为了实现平板显示产品的抗反射、消影等功能,还可以在镀膜环节中增加相应膜层的镀膜。平面显示行业一般要求靶材纯度达99.999%(5N)以上。

太阳能电池用溅射靶材主要品种有铝、铜、钼、铬、氧化铟锡(ITO)、氧化铝锌(AZO)等。太阳能电池主要包括晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池。目前,PVD镀膜工艺主要应用于制备薄膜太阳能

电池,靶材纯度一般要求4N以上。其中,铝靶、铜靶用于导电层薄膜,钼靶、铬靶用于阻挡层薄膜,ITO靶、AZO靶用于透明导电层薄膜。

溅射靶材在制备技术上按生产工艺可分为熔融铸造法和粉末冶金法两大类。在靶材制备过程中,在严格控制纯度、致密度、晶粒度、结晶取向的基础上,通过选择不同的热处理工艺及后续成型加工过程以确保靶材的质量。

熔融铸造法是制备磁控溅射靶材的基本方法之一,常用的熔炼方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼等。高纯金属如Al、Ti、Ni、Cu、Co、Ta、Ag、Pt等具有良好的塑性,直接在原有铸锭基础上进一步熔铸后,进行锻造、轧制和热处理等热机械化处理技术进行微观组织控制和坯料成型。与粉末冶金法相比,熔融铸造法生产的靶材产品杂质含量低,致密度高,但材料内部存在一定孔隙率,需后续热加工和热处理工艺降低其孔隙率。

对于难熔金属靶材、熔点和密度相差较大的多种金属合金靶材、无机非金属靶材、复合靶材的制备而言,熔融铸造法无能为力,需要采用粉末冶金法。粉末冶金工艺首先进行粉体材料的预处理,包括采用粒度和形貌合适的高纯金属粉末进行均匀化混合、造粒等,再选择合适的烧结工艺,包括冷等静压(CIP)、热压(HP)、热等静压(HIP)

及无压烧结成型等。其关键在于:选择高纯、超细粉末作为原料;选择能实现快速致密化的成形烧结技术,以保证靶材的低孔隙率,并控制晶粒度;制备过程严格控制杂质元素的引入。粉末冶金工艺还具有容易获得均匀细晶结构、节约原材料、生产效率高等优点。

二、鼓励中小企业发展

改革开放以来,我国非公有制经济发展迅速,在支撑增长、促进就业、扩大创新、增加税收,推动社会主义市场经济制度完善等方面发挥了重要作用,已成为我国经济社会发展的重要基础。但部分民营企业经营管理方式和发展模式粗放,管理方式、管理理念落后,风险防范机制不健全,先进管理模式和管理手段应用不够广泛,企业文化和社会责任缺乏,难以适应我国经济社会发展的新常态和新要求。公有制为主体、多种所有制经济共同发展,是我国的基本经济制度;毫不动摇巩固和发展公有制经济,毫不动摇鼓励、支持和引导非公有制经济发展,是党和国家的大政方针。今天,我们对民营经济的包容与支持始终如一,人们在市场经济中创造未来的激情也澎湃如昨。近年来,国家先后出台了“非公经济36条”、“民间投资36条”、“鼓励社会投资39条”、“激发民间有效投资活力10条”、《关于深化投融资体制改革的意见》等一系列政策措施,大力营造一视同仁的市场环

境,激发民间投资活力。国家发改委会同各地方、各部门,认真贯彻落实中央关于促进民间投资发展的决策部署,取得了明显成效。今年以来,民间投资增速持续保持在8%以上,前7个月达到了8.8%,始终高于整体投资增速,占全部投资的比重达到62.6%。提振民营经济、激发民间投资已被列入重要清单。民营经济是经济和社会发展的重要组成部分,在壮大区域经济、安排劳动就业、增加城乡居民收入、维护社会和谐稳定以及全面建成小康社会进程中起着不可替代的作用,如何做大做强民营经济,已成为当前的一项重要课题。

牢固树立并切实贯彻创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念,以提质增效为中心,以提升创业创新能力为主线,降成本、补短板,推进供给侧结构性改革,完善法律政策,改善公共服务,优化发展环境,推动大众创业万众创新,不断培育新增量、新动能,促进中小企业实现持续健康发展。中小企业在推动我国国民经济持续快速发展、缓解就业压力、促进市场繁荣和社会稳定等方面发挥了不可替代的重要作用。目前中小企业已占我国企业总数的99%以上,其工业总产值、实现利税和出口总额分别占全国的60%、40%和60%左右。中小企业还提供了约75%的城镇就业机会,为实现社会充分就业起到了决定性作用。促进中小企业的发展是一个世界性的课题,各国政府都十分重

视中小企业的发展和立法。一些发达国家在50年前就出台了专门的中小企业法律,并逐步形成了较为完备的中小企业政策和法律体系。目前我国中小企业在发展中还存在一些困难,技术装备落后、融资渠道不畅、信息闭塞等问题制约了中小企业的健康发展,影响了它们潜力的充分发挥。日趋突出的就业矛盾也对政府促进中小企业发展提出了迫切的要求。我国加入世界贸易组织后,市场竞争日趋激烈,为中小企业创造公平竞争的外部环境,也是国家义不容辞的责任。降低中小企业成本,发挥减轻企业负担工作机制的作用,进一步推进合理降低企业税负,全面实施涉企收费目录清单管理,规范涉企收费行为,减轻中小企业负担。优化行政审批流程和企业投资项目相关审批程序,推进降低制度性交易成本。推进降低企业融资成本,推动降低企业用能、用地成本等。

三、宏观经济形势分析

2019年外部环境将更加严峻复杂,经济运行稳中有变、变中有忧,不确定性在增加。在这样的新形势、新变化下,如何做好经济工作,更好地落实已经出台的各项方针政策,进一步做好“六稳”,促进工业经济平稳健康运行,需要群策群力,共谋大计。中国工业发展正处在一个崭新的关键路口。推动中国制造向中国创造转变、中国速度向

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