重磅数据网：www.zhongbangshuju.com
2019-2020年半导体清洗设备发展和
市场调研分析报告
研究报告 重磅数据
Economic
And Market Analysis China Industy
Research Report 2018
zhongbangshuju
重磅数据网：www.zhongbangshuju.com
前言
“重磅数据”行业分析报告主要涵盖范围
“重磅数据”研究报告主要涵盖行业发展环境，行业竞争格局和企业竞争分析，市场规
模和市场结构，产品的生命周期，行业技术总体情况，主要领先企业的介绍和分析以及未来发展趋势等。
”重磅数据“企业数据收集解决方案
”重磅数据“平台解决方案自身数据库包含上中下游产业链数据资料。能够有效地满足不同纬度，不同部门的情报收集和整理。 依据客户需求，搭建属于企业自身的知识关系图谱，打通上、中、下游的数据信息服务，一站式采集到所需要的全部数据服务。可以满足不论是企业、个人还是高校或者研究机构在不同层面需求。
关于我们
”重磅数据”是基于知识关系挖掘的大数据工具，拥有关于企业、行业与专业研究机构的最完整的全球商业信息解决方案，帮助您在有限时间内获取最全面的商业资讯。提供全球超过500个行业的20000篇细分研究行业分析报告，用户均可获取相关企业、行业与企业决策者的重要信息。在有限时间内获取有价值的商业信息。
重磅数据产业数据库（年度会员）
重磅数据数据库收录和包含了15大行业研究分析报告，涉及地产、汽车、医药、石化、制造、金融、娱乐、能源、金属和农业主要领域。先后服务多家跨国企业，研究机构和高校图书馆等。重磅数据数据库提供年度会员服务和数据定制服务。
重磅数据网：www.zhongbangshuju.com
目录
第一节半导体清洗设备市场规模分析 ........................................................................................... 6 第二节半导体清洗工艺 ................................................................................................................... 7
一、清洗工艺应用 ................................................................................................................... 7 二、湿法干法清洗工艺相互补充 ........................................................................................... 9 三、常用清洗技术分析 ......................................................................................................... 11 第三节清洗设备市场规模 ............................................................................................................. 17 第四节工艺节点演变路径 ............................................................................................................. 18 第四节全球领先企业-迪恩士 ....................................................................................................... 24
一、业务结构分析 ................................................................................................................. 24 二、财务数据分析 ................................................................................................................. 25 三、全球业务和客服分布 ..................................................................................................... 28 四、清洗设备市场份额 ......................................................................................................... 29 五、工艺节点收缩形成清洗设备新增长点 ......................................................................... 31 第五节国内清洗设备需求分析 ..................................................................................................... 36
一、中国半导体消费市场发展 ............................................................................................. 36 二、国内晶圆厂统计 ............................................................................................................. 39 三、国内清洗设备市场空间 ................................................................................................. 39 四、国产清洗设备公司 ......................................................................................................... 40 1、盛美半导体 ....................................................................................................................... 41 2、北方华创 ........................................................................................................................... 43 3、至纯科技 ........................................................................................................................... 45
重磅数据网：www.zhongbangshuju.com
图表 1 全球清洗设备市场规模（单位：百万美元） ....................................................... 6 图表 2 全球半导体设备分类占比 ....................................................................................... 6 图表 3 清洗工艺在集成电路全过程中的应用 ................................................................... 8 图表 4 不同工艺节点要求的工艺步骤与清洗步骤数量（次） ....................................... 8 图表 5 半导体制程污染源 ................................................................................................... 9 图表 6 清洁硅片与受微量铁/铜污染的硅片表面形貌 .................................................... 10 图表 7 清洗步骤中湿法与干法清洗技术占比 ................................................................. 11 图表 8 常见清洗工具一览 ................................................................................................. 12 图表 9 O2/Ar等离子体清洗系统原理 ............................................................................. 14 图表 10 光刻与刻蚀原理 ................................................................................................... 15 图表 11 主要清洗设备一览 ............................................................................................... 15 图表 12 三种主要清洗设备结构图 ................................................................................... 17 图表 13 清洗设备市场规模（百万美元） ....................................................................... 18 图表 14 21世纪以来工艺节点演变路径图 ..................................................................... 18 图表 15 不同工艺节点下的设计成本（单位：百万美元） ........................................... 19 图表 16 代工厂/逻辑芯片晶圆合计月产能结构 .............................................................. 20 图表 17 DRAM晶圆合计月产能结构 .............................................................................. 20 图表 18 2016年前十强半导体企业收入 ......................................................................... 21 图表 19 现代微电子技术工业对硅片关键参数的要求 ................................................... 22 图表 20 随着工艺节点缩小，名义通过率显著下降 ....................................................... 23 图表 21 迪恩士业务结构 ................................................................................................... 24 图表 22 迪恩士营业收入结构（亿日元） ......................................................................... 25 图表 23 迪恩士FY2016半导体业务收入结构 ............................................................... 25 图表 24 迪恩士脱机直接印版设备市场占有率 ............................................................... 26 图表 25 迪恩士液晶涂布机市场占有率 ........................................................................... 27 图表 26 迪恩士半导体业务部门全球布局 ....................................................................... 28 图表 27 迪恩士（上海）国内客户分布 ........................................................................... 28 图表 28 单晶圆清洗设备市场份额（单位：百万美元） ............................................... 29 图表 29 自动清洗台市场份额（单位：百万美元） ....................................................... 30 图表 30 自动清洗台市场份额（单位：百万美元） ....................................................... 31 图表 31 半导体行业资本开支（亿美元） ....................................................................... 31 图表 32 半导体行业资本开支增速 ................................................................................... 32 图表 33 公司半导体设备收入与订单情况 ....................................................................... 33 图表 34 迪恩士最新单晶圆清洗设备SU-3300 .............................................................. 34 图表 35 迪恩士半导体制造设备季度收入结构 ............................................................... 35 图表 36 全球半导体销售额地区结构 ............................................................................... 36 图表 37 2016年全球半导体消费市场分布 ..................................................................... 36 图表 38 中国半导体设备销售额 ....................................................................................... 37 图表 39 2017年全球半导体设备消费市场分布 ............................................................. 38 图表 40 国内晶圆厂统计 ................................................................................................... 39 图表 41 国内清洗设备市场空间测算 ............................................................................... 40 图表 42 盛美半导体营业收入与研发费用 ....................................................................... 41
重磅数据网：www.zhongbangshuju.com
图表 43 盛美2016-2017年客户结构 .............................................................................. 42 图表 44 北方华创2017年上半年营收结构 .................................................................... 43 图表 45 北方华创2017年上半年毛利结构 .................................................................... 43 图表 46 北方华创清洗设备 ............................................................................................... 45 图表 47 至纯科技营业收入 ............................................................................................... 45 图表 48 至纯科技清洗设备 ............................................................................................... 46
2019-2020年半导体清洗设备发展和市场调研分析报告(word版)
