微机电系统的现状与展望

微机电系统的现状与展望

陆敬予;张飞虎;张勇

【期刊名称】《传感器与微系统》 【年(卷),期】2008(027)002

【摘要】在过去20多年中,微机电系统(MEMS)已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段发展到当前的实际应用阶段,并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域,MEMS已经成为21世纪最具潜力的研究领域之一.对MEMS进行了简要的介绍,包括MEMS应用,MEMS的市场情况,以及3种主要的MEMS微制造技术,即体微制造、面微制造和LIGA技术.最后,提出了MEMS将来研究和发展的趋势.

【总页数】4页(1-3,7)

【关键词】微机电系统;微细加工;展望 【作者】陆敬予;张飞虎;张勇

【作者单位】哈尔滨工业大学,机电工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,机电工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,机电工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001 【正文语种】中文 【中图分类】TN301 【相关文献】

1.展望21世纪微机电系统的发展 [J], 谭茀娃; 金如麟 2.微机电系统(MEMS)研究现状及展望 [J], 张贵钦 3.微机电系统技术的研究现状和展望 [J], 严宇才; 张端

4.微机电系统技术在轮机工程中的应用展望 [J], 李国祥; 尹衍升; 张拥军; 闫澄 5.微机电系统技术及其在航天器上的应用展望 [J], 申坤

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