化学气相沉积——其它化学气相沉积方法MOCVD缺点:（1）尽管比CVD有明显改善，但残留杂质含量仍很高。（2）单晶厚度的控制需要进一步改善。（3）供气回路复杂，且要求高。（4）反应气体及尾气一般为易燃、易爆及毒性很强的气体。（5）原料价格高，供应受限。化学气相沉积——其它化学气相沉积方法光CVD：利用光能使气体分解，增加反应气体的化学活性，促进气体之间化学反应的化学气相沉积技术1）激光的特点：能量集中、单色性好、方向性好??加热基片??热分解气体?热作用 ?????控制反应速度2）激光的作用：???控制沉积区域???活化、敏化、分解反应物?光化学作用 ???诱发反应?3）主要优势：利用光能代替热能，解决沉积温度过高的问题激光辅助CVD装置示意图化学气相沉积——其它化学气相沉积方法①工作原理：电子回旋共振（ECR，Electron Cyclotron Resonance）电子在流场压力及电磁场的共同作用下，一方面向下游移动，一方面还以谐振频率发生高速回旋运动，?电子运动路径↑↑?电子与气体分子发生碰撞促使其电离的几率↑↑?等离子体密度显著↑↑（>>1012 e/cm3）?ECR装置实际上就是一个超高电荷密度的离子源，其产生的等离子体具有极高的电荷密度和活性。②ECR PECVD的基本特点：■需要高真空环境：P= 10-1~10-3 Pa；■气体电离程度接近100%，比一般PECVD 高3个数量级以上；■ECR离子束既是沉积物活性基团，又带有很高的能量。③ECR PECVD的优势：●ECR是方向、能量可控的离子源?对复杂形状样品覆盖性好！●沉积离子都带有几个eV能量?改善表面扩散?薄膜致密、性能好！●低气压低温沉积、沉积速率高、无电极污染。电子回旋共振(ECR) PECVD装置（课本P159 图4.32）化学气相沉积——习题和思考题1.CVD热力学分析的主要目的？2.CVD过程自由能与反应平衡常数的过程判据？3.CVD热力学基本内容？反应速率及其影响因素？4.热分解反应、化学合成反应及化学输运反应及其特点？5.CVD的必要条件？6.什么是冷壁CVD？什么是热壁CVD？特点是什么？7.什么是开管CVD？什么是闭管CVD？特点是什么？8.什么是低压CVD和等离子CVD？
（仅供参考）化学气相沉积 - 图文
