实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。激发源
为AlKα X射线，功率约300 W。分析时的基础真空为3×10-9 mbar。电子结合能用污染碳的C1s峰（284.6 eV）校正。
X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiation. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at 284.6 eV from adventitious carbon.
XPS数据考盘后的处理数据步骤
数据是.TXT文件，凡是可以打开TXT文件的软件都可以使用。下面以origin5.0为例：
1. open文件，可以看到一列数据，找到Region 1(一个Region 对应一张谱
图)。
2. 继续向下找到Kinetic Energy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图左
侧第一个数据。用公式BE始=1486.6-KE始-? 换算成结合能起始值，?是一个常数值，即荷电位移，每个样品有一个值在邮件正文中给出。 3. 再下面一个数据是步长值,如0.05或0.1或1，每张谱图间有可能不一样。 4. 继续向下8行,可以找到401或801这样的数，该数为通道数，即有401
或801个数据点。
5. 再下面的数据开始两个数据是脉冲，把它们舍去，接下来的401或801
个数据都是Y轴数据，将它们copy到B(Y)。
6. X轴：点A(X)，再点右键，然后点set column values，出现一个对话框，
在from中填1，在to中填401(通道数)，在col(A)中填BE始-0.05*(i-1)，最后点do it。
7. 此时即可以作出一张图。
8. 从Region 2可以作出第二张图。依此类推。
XPS Peak分峰步骤
1．将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将
column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。
2．打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。
3．选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方分别选取本底的起始和终点位置，则本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。
4．选峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（如C1s峰则选s，S2p峰则选p），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45，峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak选第二个峰，如此重复。
5．选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimise region。 6．拟合完成后，分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise region。
7．点Save XPS存图，下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。
8．点Data――Print with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。
9．点Data――Export to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。 10．
点Data――Export （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin
中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图。
XPS Peak分峰步骤 origin
