泄漏检测工艺题（仅供参考）
一、检测系统最小可检漏率的测定工艺题（参考）
采用氦质谱检漏方法对某个真空容器 （容积大于100L）进行泄漏检测，请在检测前 测定检测系统最小可检漏率，并画出测定系统示意图。
具备的条件：
1） 氦质谱检漏仪一台；
2） 容器上面有与标准漏孔相连的接头，具有与高真空机组相连的法兰或接头和管 道； 3） 渗透型标准漏孔（漏率10-8?10-10Pam?/s，漏率Qo已知）一支； 4） 高真空机组（次级泵和辅助泵，抽速 >100L/s） —台，具有与检漏仪及被检真空 容器相连接的接头、法兰和管道，具有前级阀。 答：1.检测系统最小可检漏率测定示意图
检测系统最小可检漏率的测定示意图
2.测定步骤及要点
1） 将检漏仪、被检容器及标准漏孔按上图连接好（设该系统为检测系统） 。 2） 起动检漏仪，调整检漏仪各参数使其处于检漏状态。
-2
3） 启动高真空机组，将被检容器抽真空至 10Pa以下压力。 4） 打开检漏仪的检漏阀使检漏仪与检测系统相通，并使检测系统的其他参数和工 作状态（如辅助阀的开启程度）与检漏时保持一致。
5） 当检漏仪真空度达到工作真空度且输出指示稳定后，在标准漏孔未打开的情况 下，读出仪器输出指示值即本底I。。
6） 测本底噪声In。标准漏孔阀未打开的情况下，当仪器输出指示稳定后，读出仪
器输出指示（即本底Io）在2min内的最大变化值厶Io,共测10次△ Io,取其平均值作为 本底噪声In值。测试过程偶尔出现的大脉冲值可以略去不计。
7）打开标准漏孔，当仪器输出指示稳定后，读出仪器输出指示值 I，那么，标准漏 孔的信号值△ I=I-Ioo
3?计算检测系统最小可检漏率 Qmin。信噪比取1。其计算公式为：
Qmin
In
Qo
I Io
Qo
注：如果测定时的温度T与标准漏孔校准温度To相差较大时，要对标准漏孔的漏率 值Qo进行修正，即
QT Qo 1 a T To
式中 a—温度系数，K 1或。C 1，由实验确定或校验单位给出。对渗氦型漏孔 2%°C 1 ?7%oC 1 o
注：氦质谱检漏仪最小可检漏率的测定与检测系统最小可检漏率的测定基本相同, 漏口上接标准漏孔，不带被检容器。
F面继续
a为
只是用检
二、检漏系统反应时间的测定操作工艺题 （参考）
对一个真空容器（容积大于100L）进行喷氦法氦质谱检漏，请叙述检漏系统反应时 间测定的操作步骤并画出测定系统示意图。
具备的条件： 1） 氦质谱检漏仪一台；
2） 被检真空容器上面有与标准漏孔相连的接头，具有与高真空机组相连的法兰或 接头和管道；
3） 通道型标准漏孔（漏率10?10PamP/s） —支，具有与被检真空容器相连接的 接头； 4） 高真空机组（次级泵和辅助泵，抽速 >100L/s） —台，具有与检漏仪及被检真空 容器相连接的接头、法兰和管道，具有前级阀；
5） 喷枪一把； 6） 氦气及氦气袋； 7） 秒表一只。
答：1.检漏系统反应时间测定示意图
-7
-9
2.操作步骤及要点
1） 将检漏仪、被检容器及标准漏孔连接好（假设该系统为检漏系统） 2） 起动检漏仪，调整好检漏仪各参数，使其处于检漏状态。
3） 起动高真空机组，对被检真空容器抽真空（压力 10-2Pa以下）。 4） 打开检漏仪的检漏阀，使检漏仪与检漏系统连通，并使检漏系统的其他参数和 工作状态（如辅助阀的开启程度）与检漏时保持一致。
5） 当检漏仪真空度达到工作真空度且输出指示稳定后，在标准漏孔进气端未施氦 的情况下，读出仪器输出指示值即本底 I0。
6） 用喷枪向标准漏孔进气端喷吹氦气，当输出指示稳定后读出指示值 准漏孔的信号值厶I=I-Io。
/
7） 计算出相当于标准漏孔的信号值△ I的63%的仪器输出指示值I，即
I / 0.63 I I 0 I 0
8） 停止喷氦，并清除标准漏孔进气端的氦气，使输出指示恢复到本底 Io值。
/
8）向标准漏孔进气端喷吹氦气并同时按下秒表开始计时， 当输出指示上升到I值时 停止计时，此时秒表记录的时间便为检漏系统的反应时间。
I,那么，标
面继续
三、实际漏孔漏率的测定操作工艺题 （参考）
在对某个真空容器（大于100L）进行喷吹法氦质谱检漏时发现容器焊缝上一个有超 标漏孔，见下图所示，试描述实际漏孔漏率的测定操作。
具备的条件：
被检真空容器示意图
1） 氦质谱检漏仪一台； 2） 被检真空容器上面有与标准漏孔、高真空机组相连的接头和法兰；
3） 带阀门和氦室的渗氦型标准漏孔（漏率 10-9?10-8PamP/s，漏率Qo已知）一支; 4） 高真空机组（次级泵和辅助泵，抽速＞100L/s）,具有与检漏仪及被检真空容器相的接头、法兰和管道，具有前级阀；
5） 喷枪一把； 6） 氦气瓶及氦气袋。
答：1?实际漏孔漏率测定示意图
连接
泄漏检测工艺题
