1 目的 本文规定公司内部的ESD规范,为公司产品在生产、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持,从整体上提高公司静电防护和控制水平,提高客户的满意度。 2 适用范围 本文适用于公司的防静电控制,本文中的各项要求适用于防静电敏感区域,当客户的产品有特殊要求时,采用客户要求。 3 职责 3.1 各部门经理负责本部门工作区域、生产制造过程中的静电防护措施的执行。 3.2 工程部负责根据本规范要求实施防静电基础设施(静电线、接地线、静电皮等)的建立,防静电设施测试和记录以及所有相关记录的保存。 3.3 品质部负责制定公司的防静电措施要求及监督执行状况。 4 定义 4.1 ESD﹕ELECTROSTATIC DISCHARGE静电放电。 4.2 静电的危害:就电子行业而言,静电放电能够改变半导体器件的电气性能,使之退化或者完全毁掉。静电放电还可能干扰电子系统的正常运行,导致器件故障或瘫痪。 4.3 静电的产生方式 4.3.1摩擦、接触(传导)、分离、感应、冲洗、辐射、压电、点解等; 4.3.2固体、液体、粉末流体都可能产生静电。 4.4 静电的特点 4.3.1高电位:可达到数万至十万伏,操作时常达数百和数千伏(人通常对3.5KV以下静电不易感觉到); 4.3.2低电量:静电流多为微安级(尖端放电例外); 4.3.3作用时间短:微秒级; 4.3.4受环境影响大:特别是湿度,湿度上升则静电积累减少,静电电压下降,如下表: 修改记录 版次 修订日期 产生方式 在地毯上行走 在乙烯瓦上行走 坐在椅子上的工人 10-25% RH 35000V 12000V 6000V 65-90% RH 1500V 250V 100V 编 制 审 核 批 准 最新范本,供参考!
从椅子上拿起涤纶包 20000V 1200V 4.5 人体静电 4.5.1人体是最主要的静电源之一; 4.5.2人体的活动使部分机械能转换为电能; 4.5.3人体对地电阻主要由鞋、袜、地面决定; 4.5.4人体等效电容:100PF(电容有充电放电效应); 4.5.5人体等效电阻:1KW(~1.5KW); 4.5.6安全静电电压:100V(国标 SJ/T10630-95)。 5 静电防护的基本方法 5.1 ESD控制的基本原则 5.1.1做好ESD防护设计:器件选型、合理布线、设计保护电路等; 5.1.2消除和减少静电的产生:减少或消除静电产生的过程、维持过程和材料处于等电势等; 5.1.3使静电荷泻防与中和:使用静电导体、接地、电离器来泻放于中和静电; 5.1.4保护产品免遭ESD伤害:使用防静电材料包装和储运。 5.2 防静电区设计原则 5.2.1控制静电荷的积累和静电压的产生。如设备、仪器、工装不使用材料、有机玻璃、普通塑料袋; 5.2.2安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷,使用有绳防静电腕带、防静电椅、防静电周转箱; 5.2.3保证静电压小于100V。 5.3 静电系统要素 5.3.1地面:防静电地面(防静电水磨石,防静电地板); 5.3.2工位:需架设表面静电接地; 5.3.3接地; 5.3.3.1防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置,对地电阻小于4欧姆。防静电地线不得与电源零线相接,不得与防雷地线共用,使用三相五线制供电时,其地线可用作防静电地线; 5.3.3.2工作台面、地垫、座椅和其它导静电的ESD保护设施均应通过限流电阻接入地线,腕带等应通过工作台面接地点与地线连接,工作台面不可相互串联接地; 5.3.3.3防静电工作区接地系统,包括限流电阻和连接端子应连接可靠并具有一定载流能力,限流电阻阻值选择应保证漏泄电流不超过5mA,下限值取为1M欧姆; 5.4 温湿度:20~30摄氏度,相对应湿度30~70%; 5.5 增湿:增湿器使空气潮湿,防止静电荷积累,此法不适用于增湿后会产生有害影响的场最新范本,供参考!
地; 5.6 人体:穿防静电工作服、工作鞋,戴有绳防静电手腕、手套、指套等; 5.7 包装:静电敏感器件必须存放在防静电容器内,并用防静电运输工具周转,凡工作中会接触“静电敏感元件”之人员均须遵守本规定。 6 管理内容和方法 6.1 设备接地防护措施 6.1.1使用仪器设备的基座与电机系统之安全接地(SAFETY GROUND)必须连结,测试用设备、库房物料存放料架、地垫(FLOOR MATS)、输送皮带之接地以直接焊接、折缝铆钉或使用夹式连接固定均可; 6.1.2设备接地,每3个月量测一次,并记录于《设备接地点阻抗量测记录表》。 6.2 工作台静电防护措施 6.2.1工作台表面材料,必须是导电或静电消散性材料,如导电垫(TABLE MATS),导电导板之材料; 6.2.2作业站间之接地连结,作业站之间的接地连结可以是串联任何导线在连接点前一寸之内,必须以绝缘覆之; 6.2.3工作台静电接地线,每3个月量测一次,并记录于《静电接地点阻抗量测记录表》; 6.2.4工作台上面的静电皮必须有效接地,每三个月做一次防静电测试,结果记录于《表面阻抗量测记录表》。 6.3 静电环管控 6.3.1工作人员当日进入车间时,必须先戴静电环于腕上,静电环(Wrist Strap)必须与皮肤充分接触,然后作静电环测试,通过者方可入内工作,未通过者需更换合格静电环再作试验,静电环测试步骤参考《静电环测试作业指导书》; 6.3.2做静电环测试时,需将腕带之导线夹在测试仪器之夹片上再以手指轻按测试台中央,合格显示绿灯,不合格显示红灯并将所测结果记录《静电环测试记录表》; 6.3.3静电环测试器,由仪校人员按时校正并保存校验报告。 6.4 静电鞋管控 6.4.1进入工厂之所有人员,须先换上防静电鞋进入工作场所,来宾访客须穿防尘鞋套始可进入。 6.5 材料、半成品运送与接触管控 6.5.1针对重复性使用之抗静电材料或导电材料,如储存放置箱、隔板、抗静电泡棉、导电料盒等,重复使用时每周至少要用抽样方式予以确认其阻抗值是否仍在规格内,否则应停止重复使用该材料。 6.5.2周转车必须是金属架,并有接地的链条,人员在拿取PCBA时,须持其边缘,不能直接接触敏感元器件。 6.5.3以手工焊接作业时,其焊接工具必须有充分之接地。 最新范本,供参考!
6.6 违规处理措施 6.6.1受影响之作业区应立即暂停,并依《纠正和预防措施控制程序》。 6.6.2矫正措施及受影响产品的处理方式,必须受到品质部及生产主管认可,始准予继续作业。 6.7 静电防护监测计划及规格 品 名 静电环 设备接地阻抗 规格 1MΩ±10% <4Ω 测 量 仪 器 静电环测试仪 接地电阻测量摇表 测量方法 SOP 测量周期 每天 测 量 记 录 静电环测试记录表 静电接地点阻抗量测记录表 静电接地点阻抗量测记录表 专人负责 每3个月 静电接地阻抗 <4Ω 接地电阻测量摇表 专人负责 每3个月 输送带、工作台面 10Ω~10Ω 69表面电阻测试仪 专人负责 每3个月 ESD静电测试纪录表 周转架、静电箱、静电皮 10Ω~10Ω 69表面电阻测试仪 专人负责 每6个月 ESD静电测试纪录表 7 相关文件 7.1 《设备接地点阻抗量测作业指导书》 7.2 《静电接地点阻抗量测作业指导书》 7.3 《表面阻抗量测作业指导书》 7.4 《静电环测试作业指导书》 8 相关表单 8.1 《设备接地点阻抗量测记录表》 8.2 《静电接地点阻抗量测记录表》 8.3 《表面阻抗量测记录表》 8.4 《静电环测试记录表》 最新范本,供参考!
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静电防护管理规范 - 图文
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