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BPG真空规管中文手册

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BPG真空规管中文手册

The latest revision on November 22, 2020

IR 090

热阴极电离复合真空计

使 用 说 明 书

BG 804 171 BE

目录

产品标识

有效范围 使用范围 工作原理 注册商标 1 2 3 4

安全

使用符号 人员素质 一般安全规则 赔偿责任与保修

技术参数 安装

真空连接

拆卸和安装电子学单元 安装延伸件 电源连接

与COMBIVAC IT23一起使用 与其它测量仪器一起使用 运行

测量原理,测量特性 真空计工作原理

5 6 7 8 9 10 附录 A. B.

维护 拆卸

除气 显示器 RS232C接口 功能说明

IR090输出 IR090输入

维护 真空计调整 真空计清洗 安装障板 更换障板 更换规管 故障查找

产品返修 附件 备件 废物处理

测量讯号与压强的关系 气体种类与压强的关系

污染申报表

参阅本说明书中的章节,采用符号(→XY)。参阅其它文献,采

用符号(→[Z])。

产品标识

与Leybold Inficon联系时,请标明产品标牌上给

出的信息。将信

有效范围

25 ISO-KF)

40 CF-R)

25 ISO-KF)

40 CF-R)

息复制在标牌的复印件上。

本说明书适用于下列件号的产品

不带显示器

120 90

(法兰DN

120 92

(法兰DN

带显示器

120 91

(法兰DN

120 94

(法兰DN

产品的件号在标牌上标明。

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